1．技術(shù)特征
?高倍率雙目雙視場顯微鏡和 22 英寸寬屏液晶顯示同時(shí)觀察對(duì)準(zhǔn)過程，并提供 USB 輸出；既滿足高精度對(duì)準(zhǔn)，又
可用于檢測曝光結(jié)果，且曝光結(jié)果和方便存儲(chǔ)
?采用倒置式照明，更換汞燈更方便，散熱和防漏光效果更好
?對(duì)準(zhǔn)位和曝光位雙工位工作，雙工位自動(dòng)切換
?采用嵌入式計(jì)算機(jī)+觸摸屏操作，操作更方便，更時(shí)尚
?上下片、版十分方便，自動(dòng)化程度高，操作簡便。對(duì)高校教學(xué)科研（可靠性好，演示方便）及工廠(效率高)尤為適宜
2．技術(shù)參數(shù)
?曝光面積：100mm×100mm（可升級(jí)為 6 英寸）
?曝光波長：365nm
?分辨力：≤1 μm（膠厚 1.5 μm 的正膠）
?對(duì)準(zhǔn)精度：±0.6 μm
?顯微鏡掃描臺(tái)運(yùn)動(dòng)范圍：X：10mm;Y:10mm
?掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
?樣片尺寸：直徑 ±15mm-- ±100mm（各種不規(guī)則片），厚度 0.1mm--6mm
?曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）和定劑量
?具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能30
?照明不均勻性： 3%（±100mm 范圍）
?雙目雙視場對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：既可通過目鏡目視對(duì)準(zhǔn)，也可通過 CCD+顯示器對(duì)準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)**倍數(shù) 400 倍，
光學(xué)+電子放大 800 倍
物鏡三對(duì)：4 倍、10 倍、20 倍
目鏡三對(duì)：10 倍、16 倍、20 倍
?曝光對(duì)準(zhǔn)雙工位自動(dòng)切換
?調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)
?數(shù)字設(shè)定對(duì)準(zhǔn)間隙和間隙
?具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口
?掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; Ф: ±6o
?**焦厚：400 μm（SU8 膠，用戶提供檢測條件）
?光源平行性：3 o
?曝光能量密度：>25mW/cm2，照明面溫度<35 oC
?單層曝光一鍵完成
?采用球氣浮+三爪找平
?汞燈功率：350W（直流，進(jìn)口）
3．外形尺寸：1400mm（長）±900mm(寬) ±1500mm（高）
4．配置
（1）曝光頭
?冷光橢球鏡
?350W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
?XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)
?冷卻風(fēng)扇
?光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（79 個(gè)透鏡）、i 線濾光片、場鏡、
冷光反射鏡 1、反射鏡 2
（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)
?光刻機(jī)底座
?工位切換臺(tái)（氣缸）
?掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)臺(tái)
?掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)
?轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)
?樣片調(diào)平機(jī)構(gòu)，三點(diǎn)自動(dòng)完成
?樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，電機(jī)自動(dòng)調(diào)
?基片抽拉式上下機(jī)構(gòu)
?承片臺(tái) 4 個(gè)：?15mm 、?40mm、?60mm、?100mm（可按用戶要求增減）
?掩模夾 4 個(gè)：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸（可按用戶要求增減）
?樣片抽拉式上下機(jī)構(gòu)
（3）對(duì)準(zhǔn)顯微鏡
?光源、 電源
?雙目雙視場對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體
?目鏡 3 對(duì)（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個(gè)）
?物鏡 3 對(duì)（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個(gè)）
?CCD 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，22 寸液晶顯示器
（4）電控系統(tǒng)
?汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)
?單片機(jī)控制系統(tǒng)
?控制面板
?控制柜桌
（5）氣動(dòng)系統(tǒng)
?氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開關(guān)等
?電磁閥驅(qū)動(dòng)
?氣動(dòng)儀表
（6）其他附件
?真空泵一臺(tái)
?空壓機(jī)一臺(tái)
?配套接口管道
十一、URE-2000/25 型光刻機(jī)
1．技術(shù)參數(shù)
?曝光面積：4 英寸
?曝光波長：365nm
?分辨力：1 μm（膠厚 2 μm 的正膠）
?對(duì)準(zhǔn)精度：±0.8μm
?掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：15mm;Y:15mm
?掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
?樣片尺寸：直徑 ±15mm-- ±100mm(各種不規(guī)則片)，厚度 0.1mm--6mm
?曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）和定劑量
?照明不均勻性： 3%（ ±100mm 范圍）
?雙目雙視場對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：既可通過目鏡目視對(duì)準(zhǔn)，也可通過 CCD+顯示器對(duì)準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)**倍數(shù) 400 倍，
光學(xué)+電子放大 800 倍
物鏡三對(duì)：4 倍、10 倍、20 倍
目鏡三對(duì)：4 倍、10 倍、20 倍
?掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm;Ф : ±6o
?**焦厚：350μm（SU8 膠，用戶提供檢測條件）
?光源平行性：3.5 o
?曝光能量密度：>20mW/cm2，照明面溫度<35 o
?汞燈功率：350W（直流，進(jìn)口）
2．外形尺寸：1200mm（長）?900mm(寬) ?1750mm（高）
3．配置
（1）曝光頭
?冷光橢球鏡
?350W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
?XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)
?冷卻風(fēng)扇
?光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（79 個(gè)透鏡）、i 線濾光片、場鏡
1、場鏡 2、冷光反射鏡 1、反射鏡 2
（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)
?掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)臺(tái)
?掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)
?轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)
?樣片調(diào)平機(jī)構(gòu)， 手動(dòng)
?樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，手動(dòng)
?承片臺(tái) 3 個(gè)（?50mm 、?75mm 、 ?100mm）
?掩模夾 4 個(gè)（2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸）
?基片抽拉式上下機(jī)構(gòu)
（3）對(duì)準(zhǔn)顯微鏡
?光源（配備品 2 只）、 電源
?雙目雙視場對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體
?目鏡 3 對(duì)（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個(gè)）
?CCD 及 21 英寸液晶顯示器
?物鏡 3 對(duì)（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個(gè)）
（4）電控系統(tǒng)
?汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)
?單片機(jī)控制系統(tǒng)
?控制箱
（5）氣動(dòng)系統(tǒng)
?氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開關(guān)等
?電磁閥驅(qū)動(dòng)
?氣動(dòng)儀表
（6）其他附件
?真空泵一臺(tái)
?空壓機(jī)一臺(tái)
?管道
十二、URE-2000/17 型光刻機(jī)（臺(tái)式）
1．技術(shù)參數(shù)
?曝光面積：4 英寸
?曝光波長：365nm
?分辨力：1.5μm（膠厚 2 μm 的正膠）
?對(duì)準(zhǔn)精度：±1μm
?掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：15mm;Y:15mm
?掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
?樣片尺寸：直徑 ±15mm-- ±100mm，厚度 0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為 15mm)
?曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）和定劑量
?照明不均勻性： 5%（±100mm 范圍）
?雙目雙視場對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：既可通過目鏡目視對(duì)準(zhǔn)，也可通過 CCD+顯示器對(duì)準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)**倍數(shù) 400 倍，
光學(xué)+電子放大 800 倍
物鏡三對(duì)：4 倍、10 倍、20 倍
目鏡三對(duì)：10 倍、16 倍、20 倍
?掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; Ф: ±6 度
?汞燈功率：200W（直流）
?曝光能量密度：6mW/cm
2．外形尺寸：650mm（長）±600mm(寬) ±900mm（高）36
3．配置
（1）曝光頭
?200W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
?XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)
?光學(xué)系統(tǒng)
?冷卻風(fēng)扇
（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)
?掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)臺(tái)
?掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)
?轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)
?樣片調(diào)平機(jī)構(gòu)，手動(dòng)
?樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，手動(dòng)
?承片臺(tái) 3 個(gè)（?50mm 、?75mm 、 ?100mm ）
?掩模夾 4 個(gè)（2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸）
?掩模抽拉式上下機(jī)構(gòu)
（3）對(duì)準(zhǔn)顯微鏡
?光源（配備品 2 只）、電源
?雙目雙視場對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體
?目鏡 3 對(duì)（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個(gè)）
?物鏡 3 對(duì)（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個(gè)）
?CCD（臺(tái)灣）
?21 寸液晶顯示器
（4）電控系統(tǒng)
?汞燈觸發(fā)電源(200W 直流汞燈)
?單片機(jī)控制系統(tǒng)
?控制機(jī)箱
（5）氣動(dòng)系統(tǒng)
?氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開關(guān)等
?電磁閥驅(qū)動(dòng)
?氣動(dòng)儀表
（6）其他附件
?真空泵一臺(tái)
?管道
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