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        URE-2000/A8紫外單面光刻機
        
		
        
		
		
        
			
        
			
        
				
        
					
        URE-2000/A8紫外單面光刻機
        
					
        						
        
													
        
					
        
				
        
				
        					
        
						
        
							
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        URE-2000/A8 紫外單面光刻機
        1、設備主要技術指標：
        (1) 曝光面積： 200mm×200mm；
        （2）分辨力：≤  2μm；
        （3）對準精度：±2μm；
        （4）掩模尺寸：5 英寸、7 英寸、9 英寸；
        （5）樣片尺寸：4 英寸、6 英寸、8 英寸；
        （6）wafer chuck 表面：防止光反射涂層；
        （7）掩模樣片整體運動范圍：X：10mm;Y:10mm；
        （8）掩模相對于樣片運動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6°；
        （9）汞燈功率：1000W（直流）；
        （10）曝光能量密度：≥ 15mW/cm 2 ；
        （11）曝光峰值波長:365nm；
        （12）曝光方式：定時（計時方式 0.1s—999.9s）；
        （13）調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復
        （14）數(shù)字設定對準間隙和曝光間隙
        （15）具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口
        2．技術主要組成部分
        （1）曝光頭系統(tǒng)包括:
        。 冷光橢球鏡；
        。德國 OSRAM1000W 直流高壓汞燈；
        。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺；
        。 光學系統(tǒng)（冷光紫外平面反射鏡、快門、蠅眼透鏡組、冷光紫外拋物面反射鏡）；
        。 冷卻風扇。
        （2）對準工件臺系統(tǒng)包括:
        。掩模樣片相對運動臺；
        。（XY），轉動臺；
        。 樣片調(diào)平機構；
        。 樣片調(diào)焦機構；
        。 承片臺 3 個： 4 英寸、6 英寸、8 英寸；
        。 掩模夾 3 個：5 英寸、7 英寸、9 英寸。
        （3）CCD 對準顯微鏡系統(tǒng)包括:
        。4 倍顯微鏡 2 只；
        。照明光源 2 套；
        。 CCD 相機 2 只；
        。22 英寸液晶顯示器。
        （5）電控系統(tǒng)：
        。 汞燈觸發(fā)電源(1000W)；
        。 單片機控制系統(tǒng)；
        。 控制柜桌。
        （6）氣動系統(tǒng)系統(tǒng)包括:
        。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關，電磁閥驅(qū)動，氣動儀表等
        （7）其他配置與附件
        。真空泵一臺；
        ?？諌簷C一臺；
        。 配套氣管 10m；
        					
        
					
					
        
						
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