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        美國AST光譜反射薄膜分析儀SR300
        美國AST光譜反射薄膜分析儀SR300

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        產(chǎn)地

        美國

        樣本

        暫無
        北京燕京電子有限公司

        會員

        |

        第2年

        |

        生產(chǎn)商

        工商已核實

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        產(chǎn)品簡介:

        SR系列薄膜分析產(chǎn)品來自美國AST(Angstrom Sun)公司,其可以實現(xiàn)薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的測量,同樣對于材料NK參數(shù)也可以實現(xiàn)測量,為人們針對薄膜進行分析提供了極大便利。

        特點

        · 易于安裝

        · 容易操作的基于視窗結(jié)構(gòu)的軟件

        · 先進的光學(xué)設(shè)計,以確保能發(fā)揮出**的系統(tǒng)性能

        · 基于陣列設(shè)計的探測器系統(tǒng),以確??焖贉y量

        · 獨特的光源設(shè)計,有著較好的光源強度穩(wěn)定性

        · 有四種方法來調(diào)整光的強度:

        § 通過電源的調(diào)節(jié)旋鈕來調(diào)節(jié)電源輸出的大小

        § 在光輸出端口濾光槽內(nèi)調(diào)整濾光片來調(diào)整

        § 調(diào)整光束大小

        § 通過TFProbe軟件,在探測器里調(diào)整積分時間

        · *多可測量5層的薄膜厚度和折射率

        · 在毫秒的時間內(nèi),可以獲得反射率、傳輸率和吸收光譜等一些參數(shù)

        · 能夠用于實時或在線的厚度、折射率測量

        · 系統(tǒng)配備大量的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)及數(shù)據(jù)庫

        · 對于每個被測薄膜樣品,用戶可以利用先進的軟件功能選擇使用NK數(shù)據(jù)庫、也可以進行色散或者復(fù)合模型(EMA)測量分析;

        · 可升級至MSP(顯微分光光度計)系統(tǒng),SRM成像系統(tǒng),多通道分析系統(tǒng),大點測量。

        · 通過模式和特性結(jié)構(gòu)直接測量。

        · 提供的各種配件可用于特殊結(jié)構(gòu)的測量,例如通過曲線表面進行縱長測量。

        · 2D和3D的圖形輸出和友好的用戶數(shù)據(jù)管理界面。

        系統(tǒng)配置:

        · 型號:SR300

        · 探測器: 2048像素的CCD線陣列

        · 光源:高穩(wěn)定性、長壽命的鹵素?zé)?/span>

        · 光傳送方式:光纖

        · 臺架平臺:特殊處理鋁合金,能夠很容易的調(diào)節(jié)樣品重量、200mmx200mm的大小

        · 軟件: TFProbe 2.2版本的軟件

        · 通訊接口:USB的通訊接口與計算機相連

        · 測量類型:薄膜厚度,反射光譜,折射率

        · 電腦硬件要求:P3以上、*低50 MB的空間

        · 電源:110–240V AC/50-60Hz,1.5A

        · 保修:一年的整機及零備件保修

        選項

        ?

        1用于傳遞和吸收測量的傳動夾具(SR300RT) )

        2.*低可測量直徑為5μm(MSP300)

        3. 在多個位置下,多個通道用于同時測量(SR300xX)

        4. 在超過200或300毫米晶片上所進行的統(tǒng)一測繪(SRM300-300/200)

        規(guī)格:

        · 波長范圍:400到1100 nm

        · 光斑尺寸:500μm至5mm

        · 樣品尺寸:200mmx200mm或直徑為200mm

        · 基板尺寸:*多可至50毫米厚

        · 測量厚度范圍:20nm到50μm

        · 測量時間:*快2毫秒

        · 精確度:優(yōu)于0.5%(通過使用相同的光學(xué)常數(shù),讓橢偏儀的結(jié)果與熱氧化物樣品相比較)

        · 重復(fù)性誤差:小于1Ǻ

        應(yīng)用:

        •半導(dǎo)體制造(PR,Oxide, Nitride..)

        液晶顯示(ITO,PR,cell gap... ..

        醫(yī)學(xué),生物薄膜及材料領(lǐng)域等

        油墨,礦物學(xué),顏料,墨粉

        醫(yī)藥,中間設(shè)備

        光學(xué)涂層,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..

        半導(dǎo)體化合物

        MEMS/MOEMS系統(tǒng)上的功能性薄膜

        非晶體,納米材料和結(jié)晶硅

        …………

        相關(guān)薄膜物性分析產(chǎn)品應(yīng)用及產(chǎn)品技術(shù)問題,

        歡迎關(guān)注:北京燕京電子官方頁面,或與我們聯(lián)系。

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        薄膜物性分析儀器系列(膜厚,光學(xué)參數(shù),反射譜及顏色,膜面阻,等)

        膜厚,光學(xué)參數(shù):

        SR100 薄膜分析儀

        SR300 薄膜分析儀

        SR500 薄膜分析儀

        SE200BA 橢偏薄膜分析儀

        SE200BM 橢偏薄膜分析儀

        SE200-MSP 橢偏薄膜分析儀

        SE300BM 橢偏薄膜分析儀

        SE500BA 橢偏薄膜分析儀

        MSP100 薄膜分析儀

        MSP300 薄膜分析儀

        MSP500 薄膜分析儀

        uRaman TechnoSpex-拉曼光譜儀及模塊

        膜面阻:

        EddyCus®-TF lab 2020、

        EddyCus®-TF lab 4040、

        EddyCus®-TF map 2020SR、

        EddyCus®-TF map Hybrid 、

        EddyCus®-TF inline、

        EddyCus®-TF lab Hybrid

        定制型

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        10分

        售后服務(wù)

        10分

        易用性

        10分

        性價比

        10分
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