看了美國AST光譜反射薄膜分析儀SR300的用戶又看了
虛擬號將在 180 秒后失效
使用微信掃碼撥號
產(chǎn)品簡介:
SR系列薄膜分析產(chǎn)品來自美國AST(Angstrom Sun)公司,其可以實現(xiàn)薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的測量,同樣對于材料NK參數(shù)也可以實現(xiàn)測量,為人們針對薄膜進行分析提供了極大便利。
特點:
· 易于安裝
· 容易操作的基于視窗結(jié)構(gòu)的軟件
· 先進的光學(xué)設(shè)計,以確保能發(fā)揮出**的系統(tǒng)性能
· 基于陣列設(shè)計的探測器系統(tǒng),以確??焖贉y量
· 獨特的光源設(shè)計,有著較好的光源強度穩(wěn)定性
· 有四種方法來調(diào)整光的強度:
§ 通過電源的調(diào)節(jié)旋鈕來調(diào)節(jié)電源輸出的大小
§ 在光輸出端口濾光槽內(nèi)調(diào)整濾光片來調(diào)整
§ 調(diào)整光束大小
§ 通過TFProbe軟件,在探測器里調(diào)整積分時間
· *多可測量5層的薄膜厚度和折射率
· 在毫秒的時間內(nèi),可以獲得反射率、傳輸率和吸收光譜等一些參數(shù)
· 能夠用于實時或在線的厚度、折射率測量
· 系統(tǒng)配備大量的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)及數(shù)據(jù)庫
· 對于每個被測薄膜樣品,用戶可以利用先進的軟件功能選擇使用NK數(shù)據(jù)庫、也可以進行色散或者復(fù)合模型(EMA)測量分析;
· 可升級至MSP(顯微分光光度計)系統(tǒng),SRM成像系統(tǒng),多通道分析系統(tǒng),大點測量。
· 通過模式和特性結(jié)構(gòu)直接測量。
· 提供的各種配件可用于特殊結(jié)構(gòu)的測量,例如通過曲線表面進行縱長測量。
· 2D和3D的圖形輸出和友好的用戶數(shù)據(jù)管理界面。
系統(tǒng)配置:
· 型號:SR300
· 探測器: 2048像素的CCD線陣列
· 光源:高穩(wěn)定性、長壽命的鹵素?zé)?/span>
· 光傳送方式:光纖
· 臺架平臺:特殊處理鋁合金,能夠很容易的調(diào)節(jié)樣品重量、200mmx200mm的大小
· 軟件: TFProbe 2.2版本的軟件
· 通訊接口:USB的通訊接口與計算機相連
· 測量類型:薄膜厚度,反射光譜,折射率
· 電腦硬件要求:P3以上、*低50 MB的空間
· 電源:110–240V AC/50-60Hz,1.5A
· 保修:一年的整機及零備件保修
選項
?1用于傳遞和吸收測量的傳動夾具(SR300RT) )
2.*低可測量直徑為5μm(MSP300)
3. 在多個位置下,多個通道用于同時測量(SR300xX)
4. 在超過200或300毫米晶片上所進行的統(tǒng)一測繪(SRM300-300/200)
規(guī)格:
· 波長范圍:400到1100 nm
· 光斑尺寸:500μm至5mm
· 樣品尺寸:200mmx200mm或直徑為200mm
· 基板尺寸:*多可至50毫米厚
· 測量厚度范圍:20nm到50μm
· 測量時間:*快2毫秒
· 精確度:優(yōu)于0.5%(通過使用相同的光學(xué)常數(shù),讓橢偏儀的結(jié)果與熱氧化物樣品相比較)
· 重復(fù)性誤差:小于1Ǻ
應(yīng)用:
•半導(dǎo)體制造(PR,Oxide, Nitride..)
•液晶顯示(ITO,PR,cell gap... ..)
•醫(yī)學(xué),生物薄膜及材料領(lǐng)域等
•油墨,礦物學(xué),顏料,墨粉
•醫(yī)藥,中間設(shè)備
•光學(xué)涂層,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
•半導(dǎo)體化合物
•在MEMS/MOEMS系統(tǒng)上的功能性薄膜
•非晶體,納米材料和結(jié)晶硅
…………
相關(guān)薄膜物性分析產(chǎn)品應(yīng)用及產(chǎn)品技術(shù)問題,
歡迎關(guān)注:北京燕京電子官方頁面,或與我們聯(lián)系。
————————————————————
————————————————————
薄膜物性分析儀器系列(膜厚,光學(xué)參數(shù),反射譜及顏色,膜面阻,等)
膜厚,光學(xué)參數(shù):
SR100 薄膜分析儀
SR300 薄膜分析儀
SR500 薄膜分析儀
SE200BA 橢偏薄膜分析儀
SE200BM 橢偏薄膜分析儀
SE200-MSP 橢偏薄膜分析儀
SE300BM 橢偏薄膜分析儀
SE500BA 橢偏薄膜分析儀
MSP100 薄膜分析儀
MSP300 薄膜分析儀
MSP500 薄膜分析儀
uRaman TechnoSpex-拉曼光譜儀及模塊
膜面阻:
EddyCus®-TF lab 2020、
EddyCus®-TF lab 4040、
EddyCus®-TF map 2020SR、
EddyCus®-TF map Hybrid 、
EddyCus®-TF inline、
EddyCus®-TF lab Hybrid
定制型
暫無數(shù)據(jù)!