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樣品室玻璃腔體尺寸 | 120mm ? x 120mm H，高強(qiáng)度不銹鋼結(jié)構(gòu) |
樣品臺尺寸 | 可放置12個(gè)標(biāo)準(zhǔn)釘形樣品臺，高度可在 30mm內(nèi)調(diào)節(jié) |
蒸鍍源 | 高純度碳棒，直徑6.15mm |
蒸鍍控制系統(tǒng) | 微處理器控制，遠(yuǎn)程電流/電壓感應(yīng)；**電流180A，程序化數(shù)字控制； 提供真空安全聯(lián)鎖裝置，配有過流保護(hù)； |
模擬計(jì)量 | 真空 Atm - 0.001mb 電流: 0 – 200A |
控制方式 | 自動(dòng)蒸鍍控制；可選擇手動(dòng)操作，也可通過控制數(shù)字定時(shí)器 (1 – 30秒)及電壓設(shè)定 (0.1 to 5.5V)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)蒸鍍控制；自動(dòng)放氣功能； |
機(jī)械泵 | 2L/s，25-30s內(nèi)真空度下降到0.1mb |
工作電壓 | 220V, 50/60HZ |
膜厚監(jiān)控儀（選配） | 通過6MHz石英晶體進(jìn)行原位監(jiān)控，顯示納米級厚度，碳厚度可精確到0.1nm |
適用配套 | Zeiss, JEOL, Hitachi, FEI, Tescan, Phenom等掃描電鏡 |
