蘇州晶格電子有限公司
已認(rèn)證
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ST2258C型多功能數(shù)字式電阻率、薄膜方阻測試儀簡介
一、結(jié)構(gòu)特征
二、概述
2.1基本功能和依據(jù)標(biāo)準(zhǔn):
ST2258C型多功能數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理測試材料電阻率/方塊電阻的多用途、智能化綜合測量儀器。
該儀器設(shè)計(jì)符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》等并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。
2.2儀器成套組成:由ST2258C四探針主機(jī)、選配的四探針探頭、選配四探針測試臺等部分組成。
2.3優(yōu)勢特征:
1:本測試儀特贈設(shè)測試結(jié)果自動分類功能,可分類10類。
2:可定制USB通訊接口,便于其拓展為集成化測試系統(tǒng)中的測試模塊。
3:8檔位超寬量程。 同行一般為五到六檔位。
4:儀器小型化、手動/自動一體化。
5:儀器操作簡便、性能穩(wěn)定,所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤輸入,簡便而且免除模擬定位器的不穩(wěn)定。
2.4探頭選配:根據(jù)不同材料特性需要,探頭可有多款選配。詳情見《四探針探頭型號規(guī)格特征選型參照表》
1配高耐磨的碳化鎢探針探頭,如ST2253-F01型,以測試硅等半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻;
2配不傷膜的球形或平頭鍍金銅合金探針探頭,如ST2558B-F01型,可測金屬箔、碳紙等導(dǎo)電薄膜,也可測陶瓷、玻璃或PE膜等基底上導(dǎo)電涂層膜,
如金屬鍍膜、噴涂膜、ITO膜、電容卷積膜等材料的薄膜涂層電阻率/方阻。
3配專用箔上涂層探頭,如ST2558B-F02型,也可測試鋰電池電池極片等箔上涂層電阻率/方阻。
4換上四端子測試夾具,還可對電阻器的體電阻進(jìn)行測量。。
2.5測試臺選配:根據(jù)不同材料特性需要,測試臺可有多款選配。詳情見《四探針測試臺型號規(guī)格特征選型參照表》
四探針法測試固體或薄膜材料選配SZT-A型或SZT-B型(電動)或SZT-C型(快速恒壓)或SZT-F型(太陽能電池片)測試臺。
二探針法測試細(xì)長棒類材料選配SZT-K型測試臺.
平行四刀法測試橡塑材料選配SZT-G型測試臺。
2.6適用范圍:儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校四探針法對導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測試
三、基本技術(shù)參數(shù)
1.測量范圍、分辨率(括號內(nèi)為可向下拓展1個數(shù)量級)
電 阻:10.0×10-6~ 200.0×103 Ω, 分辨率1.0×10-6~ 0.1×103 Ω
(1.0×10-6~ 20.00×103 Ω, 分辨率0.1×10-6~ 0.01×103Ω)
電 阻 率:10.0×10-6~ 200.0×103Ω-cm 分辨率1.0×10-6~ 0.1×103 Ω-cm
(1.0×10-6~ 20.00×103Ω-cm 分辨率0.1×10-6 ~ 0.01×103Ω-cm)
方塊電阻:50.0×10-6~ 900.0×103Ω/□ 分辨率5.0×10-6~ 0.5×103 Ω/□
(5.0×10-6~ 100.0×103Ω/□ 分辨率0.5×10-6~ 0.1×103 Ω/□)
2.材料尺寸(由選配測試臺和測試方式?jīng)Q定)
直 徑: SZT-B/C/F方測試臺直接測試方式180mm×180mm,手持方式不限
長(高)度: 測試臺直接測試方式 H≤100mm, 手持方式不限.
測量方位: 軸向、徑向均可
3.3量程劃分及誤差等級
滿度顯示 | 200.0 | 20.00 | 2.000 | 200.0 | 20.00 | 2.000 | 200.0 | 20.00 |
測試電流 | 0.1μA | 1.0μA | 10μA | 100μA | 1.0mA | 10mA | 100mA | 1.0A |
常規(guī)量程 | kΩ-cm/□ | kΩ-cm/□ | Ω-cm/□ | mΩ-cm/□ | ||||
基本誤差 | ±2%FSB ±4LSB | ±1.5%FSB ±4LSB | ±0.5%FSB±2LSB | ±1.0%FSB ±4LSB |
3.4四探針探頭(選配其一或加配全部)
(1)碳化鎢探針:Φ0.5mm,直線探針間距1.0mm,探針壓力: 0~2kg 可調(diào)
(2)薄膜方阻探針:Φ0.7mm,直線或方形探針間距2.0mm,探針壓力: 0~0.6kg 可調(diào)
3.5.電源
輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗:
3.6.外形尺寸、重量:
主 機(jī): 220mm(長)×245 mm(寬)×100mm(高), 凈 重:≤2.5kg
注:該儀器未取得中華人民共和國醫(yī)療器械注冊證,不可用于臨床診斷或治療等相關(guān)用途
聯(lián)系人:王經(jīng)理
聯(lián)系電話:13656 225155
微信:13656 225155
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