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        大塚電子(蘇州)有限公司
        首頁 > 產(chǎn)品中心 > 其他測試設(shè)備 > 超高速分光干渉式膜厚儀
        產(chǎn)品詳情
        超高速分光干渉式膜厚儀
        超高速分光干渉式膜厚儀的圖片
        參考報價:
        面議
        品牌:
        大塚電子
        關(guān)注度:
        3960
        樣本:
        暫無
        型號:
        產(chǎn)地:
        江蘇
        信息完整度:
        典型用戶:
        暫無
        索取資料及報價
        認證信息
        高級會員 第 2
        名 稱:大塚電子(蘇州)有限公司
        認 證:工商信息已核實
        訪問量:144826
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        產(chǎn)品分類
        公司品牌
        品牌傳達企業(yè)理念
        產(chǎn)品簡介

        以非接觸方式測量晶圓等的研磨和拋光工藝,超高速、實時、高精度測量晶圓和樹脂

        產(chǎn)品詳細信息

        特點

        • 非接觸式,非破壞性厚度測量

        • 反射光學(xué)系統(tǒng)(可從一側(cè)接觸測量)

        • 高速(**5 kHz)實時評測

        • 高穩(wěn)定性(重復(fù)精度低于0.01%)

        • 耐粗糙度強

        • 可對應(yīng)任意距離

        • 支持多層結(jié)構(gòu)(*多5層)

        • 內(nèi)置NG數(shù)據(jù)消除功能

        • 可進行距離(形狀)測量(使用配件嵌入式傳感器)*

        *通過測量測量范圍內(nèi)的光學(xué)距離

         toku.png

        Point1:獨有技術(shù)

        對應(yīng)廣范圍的薄膜厚度并實現(xiàn)高波長分辨率。
        采用大塚電子獨有技術(shù)制成緊湊機身。
        thickne.png

        spectra.png

        Point2:高速對應(yīng)

        即使是移動物體也可利用準確的間距測量,

        是工廠生產(chǎn)線的理想選擇。

        speed.png

        Point3:各種表面條件的樣品都可對應(yīng)

        從20微米的小斑點到

        各種表面條件的樣品,都可進行厚度測量。

        spot.png

        Point4:各種環(huán)境都可對應(yīng)

        因為*遠可以從200 mm的位置進行測量,

        所以可根據(jù)目的和用途構(gòu)建測量環(huán)境。

        condtion.png

        測定項目

        厚度測量(5層)

        用途

        各種厚膜的厚度

        youto.png

        式樣

        型號SF-3/200SF-3/300SF-3/1300SF-3/BB
        測量厚度范圍?5~40010~77550~13005~775
        樹脂厚度范圍?10~100020~1500100~260010~1500
        *小取樣周期kHz(μsec)5(200)※1-
        重復(fù)精度%0.01%以下※2
        測量點徑?約φ20以上※3
        測量距離mm50.80.120※4.200※4
        光源半導(dǎo)體光源(クラス3B相當(dāng))
        解析方法FFT解析,*適化法※5
        interfaceLAN,I/O入輸出端子
        電源DC24V式樣(AC電源另行銷售)
        尺寸mm123×128×224檢出器:320×200×300
             光源:260×70×300





        選配各種距離測量探頭,電源部(AC用),安全眼睛
             鋁參考樣品,測量光檢出目標,光纖清理器

         *1 : 測量條件以及解析條件不同,*小取樣周期也不同。
        *2 : 是產(chǎn)品出貨基準的保證值規(guī)格,是當(dāng)初基準樣品AirGap約300μm和
                 約1000μm測量時的相對標準偏差( n = 20 )
        *3 : WD50mm探頭式樣時的設(shè)計值
        *4 : 特別式樣
        *5 : 薄膜測量時使用
        ※CE取得品是SF-3/300、SF-3/1300

        基本構(gòu)成

         SF-3_2.png

        測定例

         SF-3r-1.png

        貼合晶圓

         SF-3r-2.png

         

        Mapping結(jié)果
        研削后300mm晶圓硅厚度


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