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            大塚電子(蘇州)有限公司
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            MCPD series 薄膜在線測量設(shè)備

            大塚電子(蘇州)有限公司  2023-02-09  點擊775次

            MCPD series 薄膜在線測量設(shè)備是光學式測量系統(tǒng),可以以非接觸和非破壞性的方式測量薄膜厚度、透過率、顏色等。

            可測量的膜厚范圍為 65 nm 到 92 μm。(以折射率n=1.5換算)

            采用分光干涉法測量原理,支持多層膜厚測量,同時實現(xiàn)高重復性精度。采用獨創(chuàng)的算法,可以高速實時監(jiān)控,非常適合于薄膜在線測量。


            產(chǎn)品信息

            特  點

            ● 非常適合于制程中的薄膜高速測量
            ● 最短曝光時間1ms~  ※根據(jù)具體規(guī)格
            ● 遠程操控測量

            ● 膜厚測量范圍 65 nm ~ 92 μm(SiO2換算)


            基本構(gòu)成

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            多點測量點切換對應系統(tǒng)

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            導軌測量系統(tǒng)

            在導軌測量系統(tǒng)中,通過導軌機構(gòu)驅(qū)動在TD方向掃描,以任意寬度和任意間距測量TD方向的膜厚分布。可以用作涂層的條件設(shè)置和運行時的實時監(jiān)控。

            通過導軌機構(gòu)橫向移動進行多點測量,無需準備多個檢測器或數(shù)據(jù)處理單元。

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            真空環(huán)境下的多點反射 · 透過光譜測量

            與各種法蘭兼容的耐真空光纖,可以在高真空下測量反射 · 透射光譜。此外,采用大塚電子獨創(chuàng)算法,不易受基膜上下移動的影響,高精度測量薄膜膜厚??勺鳛閷崟r監(jiān)控使用。

            image.png

            規(guī)格式樣

            MCPD-9800

            型號MCPD-9800
            2285C3095C3683C311C916C
            測量波長范圍(nm)220~850300~950360~830360~1100900~1600
            膜厚范圍※65nm~35μm65nm~50μm65nm~45μm65nm~49μm180nm~92μm
            膜厚/反射/透過/相位差
            色測量×
            掃描時間5ms~20s1ms~10s
            測量光斑φ1.2mm
            光纖長度1m~ 光纖長度需提前協(xié)商

            ※膜厚值以n=1.5換算。并與式樣相關(guān)。


            MCPD-6800

            型號MCPD-6800
            2285C3095C3683C3610C
            測量波長范圍(nm)220~850300~950360~830360~1000
            膜厚范圍※65nm~35μm65nm~50μm65nm~45μm65nm~49μm
            膜厚/反射/透過/相位差/色測量
            掃描時間16ms~65s
            測量光斑φ1.2mm
            光纖長度1m~ 光纖長度需提前協(xié)商

            膜厚值以n=1.5換算。與式樣相關(guān)。


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