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全新一代Axia ChemiSEM掃描電鏡，采用獨(dú)特方法進(jìn)行樣品成分信息的采集、處理和展示；依托先進(jìn)鏡筒技術(shù)，保持系統(tǒng)始終處于**狀態(tài)，可聚焦樣品采集數(shù)據(jù)，隨時提供高質(zhì)量圖像；采用全開門式設(shè)計，耐用性和靈活性更高；可搭載多款掃描電鏡軟件實(shí)現(xiàn)多種自動化功能；簡約化設(shè)計，全方面性能出色，可表征各種不同類型材料，提供*全面的信息。其成像平臺即時可用，集成獨(dú)特的實(shí)時定量能譜面分析功能，成像即刻并融合成分信息，專為快速分析而設(shè)計，操作輕松自如。

產(chǎn)品參數(shù)

發(fā)射源：預(yù)對中鎢燈絲

分辨率：
3.0nm@ 30kV（SE）；8.0 nm@ 3kV（SE）
放大倍數(shù)：5 ~ 1,000,000×（寶麗來相紙放大）
加速電壓范圍：200V ~ 30kV
探針電流范圍：**可達(dá)到2μA，連續(xù)可調(diào)
X-Ray工作距離：10 mm，EDS檢出角：35°
樣品室：內(nèi)寬280mm，端口10個
樣品臺：五軸全自動馬達(dá)驅(qū)動
☆ X=120 mm,
☆ Y=120 mm,
☆ Z=55 mm,
☆ T=-15o~90o,
☆ R=360o （連續(xù)旋轉(zhuǎn)）

☆ **樣品承重 10 kg

探測器系統(tǒng)：
☆ 高真空二次電子探測器ETD
☆ 可伸縮式背散射探測器BSED
☆ 樣品室內(nèi)紅外相機(jī)CCD
☆ 圖像導(dǎo)航彩色光學(xué)相機(jī)Nav-Cam+?
☆ 具有ChemiSEM技術(shù)的TrueSight X EDS 探測器

控制系統(tǒng)：
☆ 操作系統(tǒng)：Windows 10
☆圖像顯示：24寸LCD顯示器，**顯示分辨率1920×1200
☆支持用戶自定義的GUI，可同時實(shí)時顯示四幅圖像
☆軟件支持Undo和Redo功能

特點(diǎn)與用途

實(shí)時成分信息：同步掃描獲取多種信號時執(zhí)行能譜分析，實(shí)時檢測形貌與元素信息；

成像平臺即時可用：只需關(guān)注數(shù)據(jù)采集，不必憂慮電鏡條件設(shè)置；

更快獲得數(shù)據(jù)：多種成像和掃描策略，優(yōu)化圖像采集效果并提升系統(tǒng)處理能力；

靈活的樣品臺設(shè)計：全開門式設(shè)計，大樣品可輕松加載到樣品倉內(nèi)，**樣品10 kg；

**的成像性能：提供低真空模式和電子束減速模式用于消除荷電效應(yīng)。