北京歐波同光學(xué)技術(shù)有限公司
已認(rèn)證
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傳統(tǒng)的機(jī)械研磨方式制備樣品斷面,斷面不可避免的存在機(jī)械損傷和磨料嵌入樣品引起的污染。使用氬離子束切割樣品制備,可以制備出沒有機(jī)械損傷和表面污染的平整斷面,非常適用于 制備電池材料和部件的斷面樣品,從而進(jìn)行掃 描電子顯微鏡結(jié)構(gòu)表征分析。Thermo Scientific CleanMillTM 為電池?cái)嗝鏄悠诽峁┝送晟频臍咫x子束研磨方案,可實(shí)現(xiàn)對電子束敏感材料和空氣敏感材料本真狀態(tài)下的SEM成像和表征分析。
Thermo Scientific CleanMillTM 氬離子束斷面研磨系統(tǒng)(BIB-CP)旨在為精確的表征提供優(yōu)質(zhì)高效的樣品制備方案。其標(biāo)配的 16 keV 超高能離子源在保證研磨質(zhì)量下具有更強(qiáng)的濺射能力和更高的研磨效率。同時,低能量離子源可實(shí)現(xiàn)對具有精細(xì)結(jié)構(gòu)和易受離子束輻照損傷樣品的無損精拋和清潔。
諸多電池材料和部件具備電子束敏感和空氣敏感的特性。Thermo Scientific CleanMillTM 與 CleanConnectTM **兼容,使得 Thermo Scientific IGST 工作流程更為完善。CleanConnect 樣品轉(zhuǎn)移系 統(tǒng)提供了一套超高性價比的集成化解決方案,允許樣品在惰性氣體 / 真空下快速轉(zhuǎn)移至電子顯微鏡樣品倉內(nèi)。這種真空聯(lián)鎖解決方案采用直徑達(dá) 25mm 的標(biāo)準(zhǔn)樣品臺,極大地簡化了不同樣品在 SEM/DualBeam 系統(tǒng)轉(zhuǎn)移的工作。樣品可在手套箱內(nèi)裝載至 CleanConnect 樣品倉內(nèi),進(jìn)而通過 CleanConnect 轉(zhuǎn)移至 CleanMill 中進(jìn)行斷面樣品制備。隨后,將CleanMill中制備好的 斷面樣品采用CleanConnect 轉(zhuǎn)移至 Thermo Scientific SEM 中進(jìn)行微觀結(jié)構(gòu)表征。整個過程中樣品都處于惰性氣體保護(hù)狀態(tài)以保證其斷面完整性。該工作流程極大地簡化了樣品轉(zhuǎn)移工作,提高 了結(jié)果獲取速度,實(shí)現(xiàn)了在本真狀態(tài)下對空氣敏感材料的結(jié)構(gòu)表征。
關(guān)鍵優(yōu)勢
?高能量離子槍可實(shí)現(xiàn)快速研磨和拋光
?采用專用90°樣品臺制備截面樣品
?自動化參數(shù)設(shè)置和操作,可實(shí)現(xiàn)樣品旋轉(zhuǎn)和擺動操作
?可進(jìn)行空氣敏感材料的樣品制備,使得賽默飛惰性氣體樣品轉(zhuǎn)移工作流程(IGST)更為完善
?配備高分辨CMOS相機(jī)和觸控屏,可實(shí)時觀察樣品研磨過程
?可選配低能量離子槍,實(shí)現(xiàn)對具有精細(xì)結(jié)構(gòu)和易受輻照損傷樣品的 無損精拋和清潔。
?可選配冷臺,在進(jìn)行電子束敏感樣品的冷凍研磨時可實(shí)現(xiàn)自動液氮加注
Thermo Scientific CleanMill 與 CleanConnect 和全套 IGST 工作流 程**兼容,實(shí)現(xiàn)對空氣敏感材料在本真狀態(tài)下的表征分析。
規(guī)格參數(shù)
離子槍選擇
標(biāo)配超高能量離子槍,加速電壓連續(xù)可調(diào)
? 2 – 16 keV
? 離子束電流范圍:20 – 500 A
? **濺射速率:> 500 m/hr
? 選配低能量離子槍
? 加速電壓:100 eV – 2 keV
? 自動化的離子源設(shè)置
成像系統(tǒng)
帶有固定X10放大功能的高分辨CMOS相機(jī),其數(shù)字放大功能可實(shí) 現(xiàn)連續(xù)調(diào)至X120
樣品臺
樣品傾斜:0°到180°,0.1°增量 樣品旋轉(zhuǎn):面內(nèi)旋轉(zhuǎn) 360°
樣品擺動:面內(nèi)搖擺,從±1°到 ±180°,1°/步
樣品托種類和可承載**樣品尺寸
標(biāo)準(zhǔn)型表面拋光樣品托
?承載樣品**尺寸?30 mm x 15 mm CleanConnect兼容樣品托:
?表面拋光
o承載樣品**尺寸?28 mm x 3 mm
o可互換樣品托可承載樣品**尺寸?20.5 mm x 8.5 mm
?截面拋光
o 90° 樣品托:承載樣品**尺寸 10 mm (長) x 10 mm (寬) x 3 mm (高)
真空系統(tǒng)
?無油隔膜泵和渦輪分子泵,帶(皮拉尼/潘寧)真空計(jì)
氣體供應(yīng)體統(tǒng)
?氬氣 (純度99.999%)
?高精度氣體流量控制系統(tǒng)
計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)
?易操作的觸控屏圖形用戶界面(Touch GUI)
o 系統(tǒng)設(shè)置
o 研磨參數(shù)設(shè)置
o 操作控制
? Touch GUI采用Windows 11系統(tǒng)
可選配件
? 帶有自動加注功能的液氮制冷臺,可實(shí)現(xiàn)無間斷冷凍磨拋
? 樣品調(diào)節(jié)定位裝置
? 其他備件和易耗損件
? 適用于可加載CleanConnect的手套箱端口裝置
保修和培訓(xùn)
? 1年保修
? 設(shè)計(jì)簡化,僅需簡單培訓(xùn)
? 包含使用說明的用戶手冊
安裝要求
? 預(yù)留安裝端口 (其他附件不能共用此端口)
? 環(huán)境:與普通顯微鏡的要求相同,見預(yù)安裝手冊
? 儀器右側(cè)必須留有足夠空間,以便使用CleanConnect轉(zhuǎn)移桿
? 系統(tǒng)尺寸: 70 cm (寬) x 70 cm (深) x 61 cm (高)
由CleanMill制備的NMC陰極極片截面,采用Apreo 2S成像
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