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杭州嘉悅智能設(shè)備有限公司
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YCVD-1706系統(tǒng)由高溫管式爐，高真空擴(kuò)散泵/分子泵系統(tǒng)，多通道高精度數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)，自動壓強(qiáng)控制系統(tǒng)等組成?？蓪?shí)現(xiàn)本底真空達(dá)0.001—0.0001Pa混合氣體化學(xué)氣相沉積和擴(kuò)散試驗(yàn), 適用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備、納米線生長等場所。
主要功能和特點(diǎn)：
1、 真空系統(tǒng)可根據(jù)使用要求選擇我司擴(kuò)散泵機(jī)組或分子泵機(jī)組；
2、 可配合壓強(qiáng)控制儀控制氣體壓力實(shí)現(xiàn)負(fù)壓的精準(zhǔn)控制；
3、 數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)是由多路質(zhì)量流量計(jì)，流量顯示儀等組成，實(shí)現(xiàn)氣體的流量的精密測量和控制；
4、 每條氣體管路均配備高壓逆止閥，保證系統(tǒng)的安全可靠。
5、 采用水冷KF快速法蘭密封，裝卸方便快捷；
6、 管路采用世界**Swagelok卡套連接，不漏氣；
7、 超溫、過壓時(shí)，自動切斷加熱電源及流量計(jì)進(jìn)氣，保證設(shè)備及實(shí)驗(yàn)的安全性。
主要技術(shù)參數(shù)：
SGL-1700 高溫爐 | 控溫方式 | 采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能，并可編制50段升降溫程序。 | |
加熱元件 | 進(jìn)口1700型優(yōu)質(zhì)硅鉬棒 | ||
工作電源 | AC220V 50Hz/60Hz | ||
額定功率 | 6kw | ||
爐管材質(zhì) | 99瓷氧化鋁剛玉管 | ||
爐管尺寸 | Φ60/80/100*/1000mm | ||
工作溫度 | ≤1600℃ | ||
**溫度 | 1650℃ | ||
恒溫精度 | ±1℃ | ||
升溫速度 | ≤10℃/min | ||
測溫元件 | B型熱電偶 | ||
密封方式 | 不銹鋼水冷KF法蘭擠壓密封 | ||
ZK 真空系統(tǒng) | ZK-F | ZK-K | |
真空范圍 | 0.1-0.001Pa | 0.1-0.01Pa | |
極限真空 | 5.0*10^-5Pa | 5.0*10^-4Pa | |
產(chǎn)品配置 | 雙級旋片真空泵+分子泵 | 雙級旋片真空泵+擴(kuò)散泵 | |
冷卻方式 | 風(fēng)冷 | 水冷 | |
抽 速 | 110L/S | 100L/S | |
測量方式 | 復(fù)合真空計(jì) | ||
真空規(guī)管 | 電阻規(guī)+電離規(guī) | ||
ZDC-I 壓強(qiáng)控制系統(tǒng) | 測量范圍 | 1*10^5～1*10^-1 Pa | |
穩(wěn)壓(真空)范圍 | 1*10^3～1*10Pa | ||
壓力(穩(wěn)定精度） | ±3% | ||
控制范圍 | 2.5*10^3～5*10^-1 Pa | ||
控制精度 | ± 1% | ||
HQZ-Ⅲ 混氣系統(tǒng)
| 控制方式 | D07-7K質(zhì)量流量計(jì),D08流量顯示儀 | |
流量規(guī)格（可訂制） | 0－500SCCM /0－1SLM, | ||
線 性 | ±1%F.S. | ||
準(zhǔn)確度 | ±1%F.S. | ||
重復(fù)精度 | ±0.2%F.S. | ||
響應(yīng)時(shí)間 | ≤2sec | ||
耐 壓 | 3MPa | ||
氣路通道 | 3通道（根據(jù)客戶需求） | ||
針 閥 | 316不銹鋼 | ||
管 道 | Φ6mm不銹鋼管 | ||
接 口 | SwagelokΦ6mm | ||
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企業(yè)名稱
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其他有限責(zé)任公司信用代碼
91310114MA1GTDEL81法人代表
張鵬注冊地址
浙江省杭州市富陽區(qū)春江街道江南路68號第23幢202室成立日期
2020-05-12注冊資本
1,939.1萬(元)有效期限
2020-05-12 至 無固定期限
經(jīng)營范圍
一般項(xiàng)目：通用設(shè)備制造（不含特種設(shè)備制造）；烘爐、熔爐及電爐制造；冶金專用設(shè)備制造；玻璃、陶瓷和搪瓷制品生產(chǎn)專用設(shè)備制造；半導(dǎo)體器件專用設(shè)備制造；烘爐、熔爐及電爐銷售；泵及真空設(shè)備銷售；電子產(chǎn)品銷售；儀器儀表銷售；機(jī)械設(shè)備研發(fā)；冶金專用設(shè)備銷售；半導(dǎo)體器件專用設(shè)備銷售；機(jī)械電氣設(shè)備銷售；工業(yè)自動控制系統(tǒng)裝置銷售；技術(shù)服務(wù)、技術(shù)開發(fā)、技術(shù)咨詢、技術(shù)交流、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)推廣；新材料技術(shù)研發(fā)；新型陶瓷材料銷售；石墨烯材料銷售；石墨及碳素制品銷售；非金屬礦及制品銷售；功能玻璃和新型光學(xué)材料銷售；貨物進(jìn)出口；技術(shù)進(jìn)出口（除依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目外，憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開展經(jīng)營活動）。
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