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杭州嘉悅智能設(shè)備有限公司
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產(chǎn)品介紹
YRTP快速退火爐是一款多功能的真空氣氛燒結(jié)爐，既可以用于材料的快速升降溫退火，也可用于化學(xué)氣相沉積（CVD）法，在鎳或銅箔上制備石墨烯的制備，稍加調(diào)整，一機(jī)多用，被廣泛的應(yīng)用各研究院所。
加熱系統(tǒng)采用環(huán)形紅外短波加熱器，*快升溫速率可達(dá)300℃/S，測溫采用精準(zhǔn)的S型貴金屬熱電偶直接測量式樣表面，使加熱工件（式樣)的溫區(qū)更加均勻準(zhǔn)確，控制界面采用大尺寸觸摸屏，傻瓜智能式操作，可預(yù)設(shè)置十條溫度曲線?？刂茢?shù)學(xué)模型采用先進(jìn)的PID自學(xué)習(xí)模糊雙閉環(huán)控制模式，使控溫精度在快速升溫的恒溫狀態(tài)仍能保持在±3℃，經(jīng)過長期多次的各種試樣試驗(yàn)驗(yàn)證，已被應(yīng)用于半導(dǎo)體器件研發(fā)及生產(chǎn)等領(lǐng)域，廣泛滿足離子注入后的快速退火，歐姆接觸快速合金，硅化物合金退火，氧化物生長，銅銦鎵硒光伏應(yīng)用中的硒沉積及其它快速熱處理工藝的要求。
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號 | YRTP-1100 |
爐體結(jié)構(gòu) | 雙層殼體結(jié)構(gòu)，高精度移動平臺 |
額定溫度（℃） | 1100 |
使用溫度（℃） | ≤1000 |
溫場均勻性（℃） | ±3℃ |
溫度狀態(tài)工藝時間（S) | 2~100（100~1000℃） |
*快升溫速（℃/S） | 200 |
降溫速率（℃/S） | 1~200（通氮?dú)猓俾矢欤?/span> |
溫度控制模式 | 智能模糊全閉環(huán)PID控制 |
操作方式 | 觸摸屏控制 |
超高溫狀態(tài)檢測 | 軟件檢測出溫度信息出現(xiàn)高溫異常時，切斷主回路 |
觸摸屏尺寸 | 7"LED |
**功率（kW） | 15 |
額定電壓 | AC380~400V，50HZ（60Hz定制） |
傳感器類型 | S型單鉑銠 |
反應(yīng)腔室內(nèi)徑尺寸 | Φ100X200 |
式樣有效空間 | 4" |
真空系統(tǒng) | 選配 |
預(yù)留真空抽口 | KF16 |
進(jìn)出氣接口 | Φ6卡套 |
尺寸重量 | 長1000×深600×高600mm；凈重：約50kg |
可根據(jù)客戶要求定制！
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企業(yè)名稱
杭州嘉悅智能設(shè)備有限公司企業(yè)類型
其他有限責(zé)任公司信用代碼
91310114MA1GTDEL81法人代表
張鵬注冊地址
浙江省杭州市富陽區(qū)春江街道江南路68號第23幢202室成立日期
2020-05-12注冊資本
1,939.1萬(元)有效期限
2020-05-12 至 無固定期限
經(jīng)營范圍
一般項目：通用設(shè)備制造（不含特種設(shè)備制造）；烘爐、熔爐及電爐制造；冶金專用設(shè)備制造；玻璃、陶瓷和搪瓷制品生產(chǎn)專用設(shè)備制造；半導(dǎo)體器件專用設(shè)備制造；烘爐、熔爐及電爐銷售；泵及真空設(shè)備銷售；電子產(chǎn)品銷售；儀器儀表銷售；機(jī)械設(shè)備研發(fā)；冶金專用設(shè)備銷售；半導(dǎo)體器件專用設(shè)備銷售；機(jī)械電氣設(shè)備銷售；工業(yè)自動控制系統(tǒng)裝置銷售；技術(shù)服務(wù)、技術(shù)開發(fā)、技術(shù)咨詢、技術(shù)交流、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)推廣；新材料技術(shù)研發(fā)；新型陶瓷材料銷售；石墨烯材料銷售；石墨及碳素制品銷售；非金屬礦及制品銷售；功能玻璃和新型光學(xué)材料銷售；貨物進(jìn)出口；技術(shù)進(jìn)出口（除依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目外，憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開展經(jīng)營活動）。
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