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杭州嘉悅智能設(shè)備有限公司
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簡(jiǎn)介
1200℃加長(zhǎng)雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)是由加長(zhǎng)雙溫區(qū)管式實(shí)驗(yàn)電爐，多通道高精度質(zhì)量流量計(jì)混氣系統(tǒng)，高真空分子泵系統(tǒng)等組成?？蓪?shí)現(xiàn)真空達(dá)0.001Pa混合氣體化學(xué)氣相沉積、擴(kuò)散實(shí)驗(yàn)。同時(shí)上海煜志良好的售后服務(wù)體系，使得該產(chǎn)品的整體評(píng)價(jià)遠(yuǎn)超同行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。
主要技術(shù)參數(shù)
爐體結(jié)構(gòu) | 整機(jī)采用SUS304不銹鋼材質(zhì)，流線(xiàn)型外觀，斷熱式結(jié)構(gòu) 日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好 雙層殼體結(jié)構(gòu)，內(nèi)置風(fēng)冷層，有效降低外殼表面溫度 爐蓋可開(kāi)啟，可以實(shí)時(shí)觀察加熱的物料 |
電源 | 電壓：AC220V 50/60Hz；功率：8kW |
爐管 | 高純石英管，高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng)，耐腐蝕，熱膨脹系數(shù)極小； 尺寸：Φ60/80/100*1200mm |
法蘭及支撐 | SUS304不銹鋼快速法蘭，通過(guò)用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空 一個(gè)卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷 可調(diào)節(jié)的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐 包含進(jìn)氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合 |
加熱系統(tǒng) | 加熱元件采用優(yōu)質(zhì)合金絲，表面負(fù)荷高、經(jīng)久耐用； 加熱區(qū)長(zhǎng)度：350mm*2； 恒溫區(qū)長(zhǎng)度：450mm； 工作溫度：≤1150℃； **溫度：1200℃； 升溫速率：推薦≤10℃/min； *快升溫速度30℃/min. |
溫控系統(tǒng) | 日本富士?jī)x表，64段控溫程序，可分步、分段； 測(cè)溫元件：N型熱電偶； 控溫精度：±1℃ |
混氣系統(tǒng) | 三路質(zhì)量流量計(jì)：數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制 內(nèi)置不銹鋼混氣箱，每路氣體管路均配有逆止閥 管路采用不銹鋼管，接口為Φ6卡套 每路氣體進(jìn)氣管路配有不銹鋼針閥 通過(guò)控制面板上的旋鈕來(lái)調(diào)節(jié)氣體流量 流量規(guī)格：0~1SLM 流量精度：±1.5% 法蘭上預(yù)留一路浮子流量計(jì)，流量規(guī)格0.3-3L/min |
真空系統(tǒng) | 采用雙極旋片真空泵+分子泵，極限真空可達(dá)4.0*10-4Pa 復(fù)合真空計(jì)顯示，配置電阻規(guī)+電離規(guī) 抽速：110L/s，風(fēng)冷式散熱結(jié)構(gòu) 配置真空角閥、波紋管、壓差式充氣閥 |
可選配件 | 冷水機(jī)，各種剛玉、石英坩堝，石英管，計(jì)算機(jī)控制軟件等 |
保修期 | 整機(jī)一年保修（相關(guān)耗材除外） |
可根據(jù)客戶(hù)要求定制！
特色與優(yōu)勢(shì)
1.加長(zhǎng)雙溫區(qū)爐體，大大加長(zhǎng)了實(shí)驗(yàn)區(qū)域的溫度均勻性；
2.開(kāi)啟式爐蓋設(shè)置，降低沉積溫度、加快沉積速度；
3.日本富士溫控儀表，64段控溫程序，可分布，分段，三路質(zhì)量流量計(jì)，數(shù)字顯示精確控制氣體流量；
4.雙極旋片真空泵+分子泵，實(shí)現(xiàn)對(duì)真空度的不同要求，極限真空可達(dá)4.0*10-4Pa；
5.配置一路浮子流量計(jì)及三路高精度質(zhì)量流量計(jì)混氣系統(tǒng)，可滿(mǎn)足不同氣氛下的實(shí)驗(yàn)要求；
6.內(nèi)置S型熱電偶，可快速、實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)反應(yīng)物料的溫度變化情況；
7.尾氣活性炭過(guò)濾處理，減少反應(yīng)氣體排放對(duì)實(shí)驗(yàn)室環(huán)境的影響。
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企業(yè)名稱(chēng)
杭州嘉悅智能設(shè)備有限公司企業(yè)類(lèi)型
其他有限責(zé)任公司信用代碼
91310114MA1GTDEL81法人代表
張鵬注冊(cè)地址
浙江省杭州市富陽(yáng)區(qū)春江街道江南路68號(hào)第23幢202室成立日期
2020-05-12注冊(cè)資本
1,939.1萬(wàn)(元)有效期限
2020-05-12 至 無(wú)固定期限
經(jīng)營(yíng)范圍
一般項(xiàng)目：通用設(shè)備制造（不含特種設(shè)備制造）；烘爐、熔爐及電爐制造；冶金專(zhuān)用設(shè)備制造；玻璃、陶瓷和搪瓷制品生產(chǎn)專(zhuān)用設(shè)備制造；半導(dǎo)體器件專(zhuān)用設(shè)備制造；烘爐、熔爐及電爐銷(xiāo)售；泵及真空設(shè)備銷(xiāo)售；電子產(chǎn)品銷(xiāo)售；儀器儀表銷(xiāo)售；機(jī)械設(shè)備研發(fā)；冶金專(zhuān)用設(shè)備銷(xiāo)售；半導(dǎo)體器件專(zhuān)用設(shè)備銷(xiāo)售；機(jī)械電氣設(shè)備銷(xiāo)售；工業(yè)自動(dòng)控制系統(tǒng)裝置銷(xiāo)售；技術(shù)服務(wù)、技術(shù)開(kāi)發(fā)、技術(shù)咨詢(xún)、技術(shù)交流、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)推廣；新材料技術(shù)研發(fā)；新型陶瓷材料銷(xiāo)售；石墨烯材料銷(xiāo)售；石墨及碳素制品銷(xiāo)售；非金屬礦及制品銷(xiāo)售；功能玻璃和新型光學(xué)材料銷(xiāo)售；貨物進(jìn)出口；技術(shù)進(jìn)出口（除依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目外，憑營(yíng)業(yè)執(zhí)照依法自主開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)）。
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