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水平加熱爐體品牌
育豪微電子產(chǎn)地
山東樣本
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一．產(chǎn)品概述：
水平加熱爐體主要應(yīng)用于：臥式擴散/氧化/退火爐等加熱設(shè)備上的關(guān)鍵加熱部件，根據(jù)用戶具體工藝要求制作，或按照我公司設(shè)計制作，可滿足用戶的需求。
二．產(chǎn)品參數(shù)類型：
設(shè)備性能指標 | ||
1 | 結(jié)構(gòu)方式 | 水平 |
2 | 控溫點數(shù) | 1-9點 |
3 | 加熱爐體內(nèi)徑 | 150-550mm |
4 | 適用工藝 | 擴散（磷擴、硼擴）、氧化（干氧、合成）、玻璃鈍化（GPP）、退火、合金、鋁預(yù)沉積 |
5 | 工藝溫度范圍 | 600-1280℃ |
6 | 恒溫區(qū)長度 | 300-3000mm |
7 | 加熱爐絲線徑 | 1-10mm |
8 | 加熱爐絲品牌 | 北京首鋼HRE/HYZ、瑞典Kanthal A-1/APM |
9 | 保溫棉材料 | 摩根 陶瓷含鋯纖維棉 |
10 | 外殼材質(zhì) | SUS304/鋁材 |
三、產(chǎn)品主要特點和優(yōu)勢
1★爐體采用瑞典康泰爾加熱爐絲，保溫棉為英國摩根品牌，可長時間使用溫度在1300℃以內(nèi)，一年內(nèi)爐體內(nèi)部不會出現(xiàn)塌陷、斷裂等問題。
2★爐體內(nèi)部溫度穩(wěn)定性±0.5度。
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