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臥式退火爐品牌
育豪微電子產(chǎn)地
山東樣本
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一、設(shè)備概述：
臥式退火爐設(shè)備可應(yīng)用于集成電路、分立器件、 POWER、 MEMS等多種領(lǐng)域，適用于4-8英寸晶圓芯片的氧化、擴散、GPP、退火、合金等工藝。
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