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主要用于半導(dǎo)體行業(yè)8~12寸晶圓研磨制程。系統(tǒng)設(shè)備配套不銹鋼及高分子塑性材料管道系統(tǒng)，將混合后的研磨材料以安全、潔凈、高效、穩(wěn)定地輸送至生產(chǎn)機(jī)臺，以滿足工藝生產(chǎn)需要，滿足半導(dǎo)體行業(yè)內(nèi)對研磨制程所需的研磨液的安全和潔凈的高標(biāo)準(zhǔn)要求的特點(diǎn)；并擁有完全自主知識產(chǎn)權(quán)，穩(wěn)定生產(chǎn)和強(qiáng)大的技術(shù)團(tuán)隊(duì)跟進(jìn)售后服務(wù)的優(yōu)勢。
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