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蒸發(fā)鍍膜設(shè)備品牌
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1)真空腔 2)抽氣系統(tǒng) a) OSAKA FR060D b) BROOKS CTI OB400 & 9600 compressor/Leybold DIP8000 c) Flapper Valve d) Inficon vacuum gauge | 3)電子槍 JEOL BS-60050EBS 4)高精度鍍膜基板溫度控制雙加熱系統(tǒng),**溫度:350℃ 5)高精度控制工件高速旋轉(zhuǎn) 6)6片石英芯片晶體膜厚控制儀 7)鍍膜基板自動(dòng)翻面功能 8)同點(diǎn)實(shí)時(shí)監(jiān)控光學(xué)膜厚儀 |
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