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SCREEN二手清洗設(shè)備WS-820L，針對(duì)8英寸晶圓的高通量批量清洗系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)靈活的生產(chǎn)線配

特點(diǎn)：

1.傳輸類型

選擇 WS-820L 用于 200 毫米晶圓并進(jìn)行無(wú)載體轉(zhuǎn)移處理。

2. 靈活的設(shè)計(jì)

系統(tǒng)可以根據(jù)應(yīng)用自由配置。處理槽配置*多可包含 13 個(gè)槽。

3. 高吞吐量

可以安裝多個(gè)浴槽，*多可以安裝六個(gè)傳送機(jī)器人，以確保高吞吐量。

4. 高品質(zhì)加工

優(yōu)化的加工槽設(shè)計(jì)、嚴(yán)格的化學(xué)品管理和清潔的干燥裝置有助于穩(wěn)定、高質(zhì)量的加工。

5. 豐富的周邊設(shè)備陣容

提供多種外圍設(shè)備，包括晶圓傳送單元和盒式儲(chǔ)料器。

6. 水印的預(yù)防

可安裝低壓干燥裝置以減少水印并確保干燥清潔