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        SBC-16 磁控離子濺射儀
        SBC-16 磁控離子濺射儀

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        面議

        型號

        SBC-16

        品牌

        kyky

        產地

        北京

        樣本

        暫無
        北京中科科儀股份有限公司

        高級會員

        |

        第7年

        |

        生產商

        工商已核實

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        核心參數
        • 樣品倉尺寸:

          -
        • 樣品臺尺寸:

          可以裝載 12 個 SEM 樣品座,高度可調范圍為 60mm
        • 濺射氣體:

          放氣以及氬氣換氣控制
        • 控制方式:

          自動
        • 靶材材質:

          Au 靶為標配,可選 Pt,直徑 57mm x 0.1mm 厚
        • 靶材尺寸:

          -
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        SBC-16 是一款結構緊湊的桌上型鍍膜系統,特別適用于掃描電鏡成像中非導電樣品高質量鍍膜。

         

        主要特性

         

          通過高效低壓直流磁控頭進行冷態(tài)精細的噴鍍過程,避免樣品表面受損。

          操作容易快捷, 控制的參數包括放氣以及氬氣換氣控制。

          數字化的噴鍍電流控制不受樣品室內氣壓影響,可得到一致的鍍膜速率和**的鍍膜效果。

          可使用多種金屬靶材:Au, Au/Pd,Pt,,Pt/PdAu 靶為標配), 靶材更換快速方便。

         

        技術參數

         

        濺射系統

        靶材

        Au 靶為標配,可選 Pt,直徑 57mm x 0.1mm

        標準樣品臺

        可以裝載 12  SEM 樣品座,高度可調范圍 60mm

         

         

        旋轉傾斜樣品臺(選配)

        旋轉速度: 0~60rpm 連續(xù)可調,傾斜角度: -90 °~ 90°連續(xù)可調;

        不銹鋼腔體:直徑 120mm X  75mm;

        觀察窗:直徑 120mm X  45mm

        標配旋轉臺直徑 40mm,可放 4 個標準樣品臺, 其它規(guī)格可訂做; 具有雙重鎖緊裝置, 可確保樣品在旋轉傾斜時不會松動脫落。

        濺射電流

        微處理器控制, 安全互鎖,可調,電流 5~30mA,程序化數字控制

        計量表

        真空:  Atm - 1*10-3 mbar,電流: 0~99mA

        控制方法

        帶有 “開始”“暫停”按鈕的微處理控制器(1999s),自動抽氣、濺 射、關機后自動放氣。

        真空系統

        抽氣速率

        133L/MIN

        極限真空

        10-4  mbar

        噪音

        56dB


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