控制方式：
其他靶材材質：
-靶材尺寸：
2英寸樣品倉尺寸：
-樣品臺尺寸：
-濺射氣體：
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主要特點：模塊設計，易于安裝體積小巧；自動化高，一鍵啟動運行；功能性強，支持多種靶材鍍膜；穩(wěn)定性好，高效成膜質量可靠。
真空室尺寸(mm)：Φ114×H128；
濺射靶材尺寸(mm)：2英寸(厚度≤2mm)；
樣品臺：帶1個Φ50mm樣品臺和7個Φ13mm 掃描電鏡樣品杯，電動旋轉。
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