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微波等離子化學(xué)氣相沉積(MPCVD)系統(tǒng)B型品牌
成都華宇產(chǎn)地
四川樣本
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性能特點(diǎn):
?采用特殊材質(zhì)反應(yīng)腔,能耐高溫 ?高品質(zhì)單晶金剛石、多晶金剛石的批量生長(zhǎng) ?使用高精度氣體流量計(jì),高穩(wěn)定性 ?采用純凈的石英窗 ?設(shè)備安全性高、可靠性強(qiáng)、重現(xiàn)性好 ?方便工藝人員沉積工藝的研發(fā)和優(yōu)化 |
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