參考價格
面議型號
HMPS-2080SP微波等離子體(CVD)系統(tǒng)品牌
沃特塞恩產(chǎn)地
四川樣本
暫無看了HMPS-2080SP微波等離子體(CVD)系統(tǒng)的用戶又看了
虛擬號將在 180 秒后失效
使用微信掃碼撥號
技術(shù)參數(shù)
(1) | 型號 | HMPS-2080SP |
(2) | 電源 | AC380±10% V 三相五線制 50Hz,額定輸入<18KVA |
(3) | 微波輸出功率 | 0.1~8kW 連續(xù)可調(diào) |
(4) | 功率穩(wěn)定度 | 1%(@穩(wěn)態(tài)) |
(5) | 紋波 | ≤1% |
(6) | 微波頻率 | 2450MHz±50MHz |
(7) | 測溫方式 | 紅外300~1400℃ |
(8) | 極限真空度 | ≤3.7×10-3Torr |
(9) | 工作壓力 | 5torr~225torr |
(10) | 放電區(qū) | Φ≥70mm |
(11) | 均勻沉積區(qū) | ≥68mm |
(12) | 工作氣體 | H2 /CH4 /N2 /O2 或CO2 或Ar ,可擴(kuò)展為5路 |
(13) | 氦質(zhì)譜真空漏率 | ≤1.0×10-9Pa·m3/s; |
(14) | 工作環(huán)境 | 溫度15-40℃,相對濕度≤60%,無腐蝕性氣體 |
暫無數(shù)據(jù)!