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MW-670微波等離子設(shè)備——6kw品牌
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生長(zhǎng)臺(tái)尺寸：φ70mm 可同時(shí)生長(zhǎng)7mm*7mm單晶45粒
10mm*10mm單晶21粒
控制方式：觸摸屏控制，PLC工藝菜單運(yùn)行（手動(dòng)或自動(dòng)）
微波電源： MUEGGE 6KW 2.45GHz
真空泵：Leybold D16C / KYKY RV-4三相旋片泵
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