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        WG-1261全自動(dòng)減薄機(jī)
        WG-1261全自動(dòng)減薄機(jī)

        參考價(jià)格

        面議

        型號(hào)

        WG-1261全自動(dòng)減薄機(jī)

        品牌

        宏華電子

        產(chǎn)地

        廣東

        樣本

        暫無
        肇慶市宏華電子科技有限公司

        金牌會(huì)員

        |

        第1年

        |

        生產(chǎn)商

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        技術(shù)特點(diǎn):

         ●磨輪直徑 Φ300mm,**減薄速率 0.9μm/s, 單片磨削時(shí)間< 5 分鐘。選擇高功率高扭矩主軸,可實(shí)現(xiàn)高效率、高精度、無損傷鏡面加工;
         ●雙主軸三工位全自動(dòng)減薄機(jī),配有在線測量儀單元(測量范圍 0-1800μm),精確控制減薄厚度;具備 SECS/GEM 聯(lián)網(wǎng)功能。配置 SMIF(選配),保持高清潔度的同時(shí)穩(wěn)定減薄。

         

        性能指標(biāo):

        WG-1250自動(dòng)減薄機(jī)
        磨削方式通過旋轉(zhuǎn)晶圓,實(shí)現(xiàn)縱向切入式磨削
        結(jié)構(gòu)方式1根主軸, 3個(gè)承片臺(tái),1回轉(zhuǎn)工作臺(tái)
        磨削尺寸
        mmMax.?200(Φ6″-Φ8″)
        磨輪直徑
        mmΦ300
        主軸主軸數(shù)量-2
        主軸功率KW7.5
        主軸轉(zhuǎn)速rpm1000-4000
        Z軸行程mm120

        Z軸分辨率μm0.1
        承片臺(tái)裝片方式-真空吸附
        承片臺(tái)類型-多孔陶瓷式(6/8寸兼容)
        轉(zhuǎn)速rpm0-300
        承片臺(tái)數(shù)量3
        承片臺(tái)清洗方式-油石手動(dòng)清洗
        減薄精度片內(nèi)厚度偏差μm≤2
        片間厚度偏差μm≤±2
        表面粗糙度斤nm≤3(#30000 wheel,SiC)
        設(shè)備外形尺寸WxD×Hmm1445×3330×1895
        設(shè)備重量kg4700

         


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        售后服務(wù)

        10分

        易用性

        10分

        性價(jià)比

        10分
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