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面議型號
EVG GEMINI晶圓鍵合系統(tǒng)品牌
亞科電子產(chǎn)地
北京樣本
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產(chǎn)品簡介:
EVG GEMINI是一款全自動多腔室晶圓鍵合工藝平臺,實現(xiàn)了高程度的集成度和自動化,適用于大型量產(chǎn)。
主要特點及參數(shù):
·**支持12英寸(300mm)晶圓
·*多兼容4個鍵合腔室和6個預(yù)處理腔室
·兼容底部對準(zhǔn)、紅外對準(zhǔn)以及SmartView對準(zhǔn)
·可選配模塊:
低溫等離子體活化
晶圓清洗
涂膠模塊
UV固化模塊
烘烤/冷卻模塊
對準(zhǔn)驗證模塊
暫無數(shù)據(jù)!