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X射線發(fā)生系統(tǒng)為X射線聚焦光學(xué)系統(tǒng)（聚焦導(dǎo)管）與X射線源相結(jié)合，并且可以照射出實際照射直徑為0.1mmφ以下高強度的X射線束。為此，可以對以往X射線熒光鍍層厚度測量儀由于照射強度不足而無法得到理想精度的導(dǎo)線架、插接頭、柔性線路板等微小部件及薄膜進行測量。同時搭載高計數(shù)率、高分辨率的半導(dǎo)體檢測器，在測量鍍層厚度的同時，也能對RoHS、ELV、中國版RoHS等法規(guī)所管制的有害物質(zhì)進行分析測量。
1. X射線發(fā)生系統(tǒng)采用了聚光導(dǎo)管 由于采用了X射線聚光導(dǎo)管方式，可得到以往十倍以上的X射線強度，從而可以提高微小樣品的膜厚測量及有害物質(zhì)測量的精度。
2. 無需液氮的半導(dǎo)體檢測器 在進行薄膜測量與有害物質(zhì)的濃度測量時，高分辨率的檢測器是必不可少的。SFT9500的檢測器不但可以達到高分辨率，而且可以實現(xiàn)高計數(shù)率。同時，由于使用了電子冷卻方式，所以無需液氮。
3. 能譜匹配軟件（選配件） 可瞬間識別未知樣品與事先存檔的X射線能譜庫中哪一個樣品較為接近的軟件。對識別材料十分有效。
4. 塊體檢量線軟件（適用于電鍍液分析） （選配件） 可簡單地測量出電鍍液中主要金屬的濃度。
5.繪圖軟件（選配件） 將元素面分析的結(jié)果進行等高線和色彩使用等視覺處理的軟件。
6. 電鍍液容器（選配件）
7. 各種標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)（選配件）
［主要產(chǎn)品規(guī)格］ | |
可測量元素 | 原子序數(shù)13(Al)～83(Bi) |
X射線聚光 聚光方式 | X射線源 |
管電壓 | 50kV |
管電流 | 1mA |
檢測器 | Vortex®檢測器(無需液氮) |
| 分析范圍 | Φ0.1mm、Φ5mm |
| 樣品觀察 | 彩色CCD攝像頭（附變焦功能） |
| 濾波器 | 3種模式自動切換 |
| 樣品平臺 | 240(W)×330(D)mm |
| 移動量 | X：220mm Y：150mm Z：150mm |
| 載重量 | 10kg |
| 重量 | 123kg(不含電腦) |
| X-ray Station | 臺式電腦 19"LCD (OS; Microsoft-Windows XP®) |
| 膜厚測量軟件 | 薄膜FP法（*多五層，各層十種元素） 檢量線法（單層、雙層、合金膜厚成分） |
| 定量分析功能 | 塊體FP法 |
| 統(tǒng)計處理功能 | Microsoft-EXCEL® |
| 報告制作 | Microsoft-WORD® |
| 安裝環(huán)境 | 溫度：10℃～35℃(±)5℃ 濕度：35%～80% |
| 使用電源 | 接地三頭插座 AC100、15A |
暫無數(shù)據(jù)！
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