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        光致發(fā)光測試儀
        光致發(fā)光測試儀

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        廣州市固潤光電科技有限公司

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        MaxMile LED 外延片 EL/PL 聯(lián)合測試系統(tǒng)

        4-inch Desktop 8-inch Desktop Robot I System Robot II System

        1、外延尺寸(**12” ): 2"-4" 2"-8" 2"-8" 2"-8"

        2、工作臺尺寸(W×D×H):18"×18"×14" 18"×18"×14" 32"×32"×68" 57"×32"×68"

        3、外延裝載功能: manual manual manual/robot robot

        4、裝載盒數(shù)量: n/a n/a 1 up to 3

        5、裝載盒檢測: n/a n/a yes yes

        6、外延尺寸檢測: n/a n/a yes yes

        7、裝載盒外延映射: n/a n/a yes yes

        8、預對準: n/a n/a yes yes

        9、外延片快速映射功能測試:

        標準:EL(電致發(fā)光),PL(光致發(fā)光),EL / PL相結合,IV,反向特性,翹曲。

        可選:膜厚測試 ,GaN on Si特征,測試溫度控制。*

        10、光譜檢測范圍:從紫外到近紅外(默認為200nm—800nm)

        11、光譜分辨率:0.5-2 nm,取決于光譜范圍選擇和系統(tǒng)配置

        12、測試項目:

        1、電致發(fā)光Mapping:

        波長--WLP/WLD/WLC (峰值/主/中心)波長,半高寬度。

        強度—輻射/發(fā)光功率,轉換效率。

        電流—正向電流/電壓,導通電壓,反向漏電流/電壓,閾值電壓,導通電阻,頂部電阻

        正向漏電流,串接電阻,理想因子,等。

        2、光致發(fā)光:

        波長—WLP/WLD/WLC (峰值/主/中心)波長,半高寬度。

        強度—輻射/發(fā)光功率,轉換效率。

        3、IV特性Mapping:

        正向電流/電壓,反向漏電流/電壓,閾值電壓,導通電阻,等。

        4、其他特性Mapping:

        翹曲度

        薄膜厚度*

        5、測試曲線類型:

        特定驅動電流/電壓的電致發(fā)光光譜

        光致發(fā)光譜

        LIV—電流/發(fā)光強度— 電壓

        輸出強度— 驅動電流

        波長&半高寬— 驅動電流

        反向IV

        6、CVD外延布局Mapping:

        對于上述所有測試項目,無論mapping還是快速測試均可做布局圖

        注意:軟件可以客制化,可為客戶特殊的器件參數(shù)做mapping圖

        13、激發(fā)源:EL: Keithley 數(shù)字電源;PL:405nm標配,MaxMile配置其他激發(fā)源。

        14、EpiEL探針類型:Type I, Type IA, Type II, Type IIA, Type IIB, Type IIC, and GaN-on-Si

        15、電流測試:>10 -12A

        16、控制單元與操作系統(tǒng):EpiEL內(nèi)部電腦使用64位微軟Windows7/8操作系統(tǒng)

        17、采樣點/采樣步驟:

        1、電致發(fā)光采樣點和每個點的光/電測量步驟都可由*終用戶設置。

        2、光致發(fā)光采樣點可以由*終用戶(高分辨率應用于高要求的應用,快速掃描可用于批量生產(chǎn)的質(zhì)量控制。

        3、用戶可自定測試點的布局。

        18、測試時間:每片外延片測試約0.5-12分鐘,這取決于測試類型、采樣點、檢測協(xié)議和測量步距設置的不同之處; 光致發(fā)光選項掃描速度是每秒*多達50點。

        19、報告生成與數(shù)據(jù)展示:HTML (Brief/Abbreviated/Full) /XML/CSV/TXT

        20、Mapping顏色編碼:彩虹色,漸變色,二元色,溫度,灰色,或任何由*終用戶指定的顏色類型。

        21、電源:15A/110VAC 或是10A/220VAC(**電壓);機器人系統(tǒng)需要真空。

        22、環(huán)境條件:溫度: 15℃ - 30℃ ,相對濕度:30% -70%無凝結。

        Epi-EL/PL聯(lián)合測試系統(tǒng)

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        10分

        售后服務

        10分

        易用性

        10分

        性價比

        10分
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