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日本電測EX-731型熒光X-Ray鍍層測厚儀
規(guī)格參數：
測量臺操作方式 | 手動 | 自動 | ||
測量行程 | 單位(mm) | 170 × 110 | 300 × 280 | |
移動量 | X(mm) | 70 | 80 | |
Y(mm) | 70 | 60 | ||
Z(mm) | 80（測定物高**150） | 50 | ||
測定物高（**） | 80（150可選） | 50 | ||
外形(mm) | 600(W)×465(D)×730(H) | |||
重量(kg) | 79 | 85 | ||
測量臺載重(kg) | 3 | 1 | ||
電源 | AC200V±10V | |||
X線源 | 油浸式小型微焦點Ｘ線管管電圧50kV管電流可変 |
照射方式 | 上面垂直照射方式 |
検出器 | 比例計數管 |
準直孔 | 5種類(自動切換式) 0.1， 0.2， 0.5， 1.0， 2.0φmm (可選換如下準直孔)：0.05×0.5，0.05φ |
樣品觀察 | CCD鏡頭 |
測定対象 | 原子番號22(Ti)～82(Pb)原子番號21以下可應用吸收法測量 |
濾波器 | (Co、Ni)自動切換 |
厚度測定范圍 | 原子番號22～24：0.2～約20μm原子番號25～40：0.1～約30μm原子番號41～51：0.2～約70μm原子番號52～82：0.05～約10μm |
検量線 | 検量線自動作成 |
測量功能 | 単層膜厚測定2層膜厚測定3層膜厚測定合金膜厚成分比同時測定無電解膜厚測定 |
測量模式 | 自動測量X-Ray功率可選擇 |
自動測量臺功能 | 測定位置指定(X-Y-Z)同一點重復測量功能原點補正功能 測定位置確認功能自動校正 |
數據処理機能 | 統(tǒng)計量表示：平均、標準偏差、**、*小、方差、Cp、Cpk餅圖表示柱狀圖表示測定值立體圖表示ｘ-R管理圖 |
可測量厚度元素種類： |
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