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AS-One系統(tǒng)有兩種型號: AS-One 100 系統(tǒng)或AS-One 150 系統(tǒng)
該快速退火爐是專門為滿足大學、研究實驗室和小規(guī)模生產(chǎn)的需求而研制的,高可靠且性價比高。
該工藝室采用貝殼式設(shè)計,可完全進入底板,方便裝載和卸載基板,并允許實際清潔腔體
快速數(shù)字PID溫度控制器在整個溫度范圍內(nèi)提供精確和可重復(fù)的熱控制。
特征: | |
基本尺寸: | Up to 直徑100 mm (4-inch) for AS-One 100 Up to 直徑150 mm (6-inch) for AS-One 150 Small substrates using susceptors |
工藝腔體 | 運用不銹鋼冷腔室壁技術(shù) |
溫度范圍 | 標準配置:**達到1250°C 高溫配置:**達到1450°C |
溫度控制 | 標準配置:熱電偶和高溫計用來測量溫度 快速數(shù)字PID溫度控制器在可獲得精確的和可重復(fù)的熱控制 |
真空和氣體 | *多可達5路帶MFC的工藝氣體,一路清潔氣體 |
電腦控制 | 全PC電腦控制,每個配方*多100步驟 全數(shù)據(jù)記錄與處理歷史的人機界面設(shè)計 |
選項: | |
石墨托盤/碳化硅涂層托盤/粗真空泵和渦輪泵/快速冷卻系統(tǒng)/其他套件 | |
應(yīng)用: |
● 快速熱退火
● 快速熱氧化
● 擴散/接觸時退火
● 化合物退火
● 結(jié)晶或致密化
我公司專業(yè)銷售Annealsys產(chǎn)品,并提供Annealsys產(chǎn)品的售前售后服務(wù),如您對Annealsys產(chǎn)品感興趣,歡迎前來咨詢!
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