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當(dāng)今高精電子束設(shè)備對(duì)環(huán)境磁場(chǎng)及其動(dòng)態(tài)變化是非常敏感的。環(huán)境磁場(chǎng)使電子束產(chǎn)生偏移,從而導(dǎo)致設(shè)備分辨率和測(cè)量精度的減低。SC22系統(tǒng)是一種三維空間內(nèi)的交流磁場(chǎng)補(bǔ)償系統(tǒng),通過(guò)傳感器感知空間環(huán)境中交流磁場(chǎng)及其變化量,控制器通過(guò)三維空間線圈來(lái)提供反磁場(chǎng),抵消環(huán)境磁場(chǎng)給電子束設(shè)備帶來(lái)的影響,恢復(fù)應(yīng)有的分辨率和精度。
SC22特點(diǎn)及技術(shù)參數(shù)如下:
通過(guò)穩(wěn)定磁場(chǎng)環(huán)境確保您購(gòu)置的電子束科技設(shè)備應(yīng)有性能
消除和監(jiān)測(cè)交流磁場(chǎng)
低成本高性能系統(tǒng)
智能用戶(hù)界面
自動(dòng)運(yùn)行,連續(xù)實(shí)時(shí)補(bǔ)償磁場(chǎng)
交流磁場(chǎng)可消除范圍:0.5 Hz to 5 kHz;市電60 Hz的交流背景磁場(chǎng)可被改善50倍
完整的X, Y, Z三軸消磁系統(tǒng)
可消除場(chǎng)強(qiáng)高達(dá)60 mG (6.0 μT) pk-pk
磁場(chǎng)躍變響應(yīng)速度:100 μs以?xún)?nèi)
高靈敏度傳感器,可精確反饋環(huán)境磁場(chǎng)變化;支持雙傳感器,用于抵消TEM透射電鏡和高突變環(huán)境磁場(chǎng)
USB監(jiān)控端口
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