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Q150T PLUS系列全自動高真空鍍膜儀
英國QUORUM出品的Q150T Plus是一款優(yōu)化設計的帶渦輪分子泵抽真空的鍍膜設備,真空度可達5x10-5mbar??梢詾R射具有超細成膜顆粒的易氧化金屬,適用于高分辨率成像。同樣地,低散射可得到均勻而致密的無定形碳膜。
Q150T E和ES PLUS使用碳棒頭作為標準配置;Q150T S和ES PLUS濺射貴金屬和易氧化金屬。
推薦放大倍數(shù):
? Au、Au/Pd可達5萬倍
? Pt可達10萬倍
? Cr、Ir可達10萬倍以上
非常適合薄膜應用,例如鍍ITO、W、Al、Zn等。
推薦應用:
? 掃描電鏡高分辨率放大應用
? FIB中鍍保護性鉑層
? 腐蝕、摩擦和磨損保護層的研發(fā)
? 醫(yī)療設備上的保護層
? BSE成像
? EDX, WDS, EBSD分析
? 蒸鍍碳覆型膜
Q150T Plus 功能特點:
1)全新升級的用戶界面:
? 電容式觸摸屏,靈敏度高,更易觸控使用
? 用戶界面軟件全面更新,使用現(xiàn)代智能技術界面
? 全面的文字幫助頁面
? USB接口可輕松進行軟件更新和數(shù)據(jù)備份
? log文件格式為.csv,內(nèi)含日期、時間和工作參數(shù),導出后可在Excel或類似軟件中分析
? 16GB的閃存可儲存超過1000條鍍膜方案
? 雙核ARM處理器,可實現(xiàn)快速響應的顯示
2)允許多用戶輸入和儲存鍍膜方案,并根據(jù)*近的使用來排列每個用戶的方案。
3)智能邏輯系統(tǒng)自動識別插入頭,并顯示相應的操作設置和控制。
4)系統(tǒng)提示用戶確認靶材,然后自動為該材料選擇合適參數(shù)。
5)直觀方便的軟件,即使新手也能快速輸入和存儲其處理參數(shù),創(chuàng)建自己的鍍膜程序,且系統(tǒng)已存儲典型的濺射和鍍碳程序可供直接調(diào)用。
6)如果軟件檢測到在一段時間內(nèi)無法達到設定真空度,系統(tǒng)會終止程序,以防真空泵過熱。
7)可互換的插入頭:允許用戶將系統(tǒng)配置為濺射鍍膜儀、蒸鍍儀或輝光放電系統(tǒng) - 所有這些系統(tǒng)都可集成在一個設備中,節(jié)省空間??蛇x碳繩蒸發(fā)??勺詣訖z測識別插入頭類型。
8)可拆卸腔室,設有防爆罩:可拆卸玻璃腔室,易清潔底座和頂板。如需要,用戶可快速更換腔室以避免敏感樣品交叉污染。高腔室選項可用于碳蒸發(fā),避免樣品過熱;提高濺射的均勻性和承載較高尺寸的樣品。
9)多種樣品臺可選:Q150T Plus具有可滿足大多數(shù)要求的樣品臺。所有樣品臺都是插入式(無螺絲),易于更換。
10)獨特的“可控斜坡碳棒蒸發(fā)”、“磁控冷濺射”和“脈沖清潔用于濺射Al”等先進技術。
11)安全性符合行業(yè)CE標準。
Q150T Plus具有三種型號:
1)Q150T S Plus全自動濺射鍍膜儀,可濺射易氧化金屬及貴金屬??蔀R射的靶材包括鉻、銥、鎢、ITO、鋁和其它靶材。
2)Q150T E Plus全自動蒸發(fā)鍍碳儀(碳棒/碳繩),適合SEM領域的EDS和WDS應用??蛇x金屬蒸發(fā)/光闌清潔頭。
3)Q150T ES Plus是集成了離子濺射和熱蒸鍍兩種方式的一體化高真空鍍膜系統(tǒng)。鍍膜頭可在數(shù)秒內(nèi)更換,可選金屬蒸發(fā)/光闌清潔頭。
Q150T Plus是Quorum Technologies出品的國際認可的Q系列鍍膜儀的一部分,全球數(shù)千家客戶使用此類鍍膜儀。Q系列旨在為SEM、TEM和薄膜應用提供高質量的鍍膜解決方案,Q系列功能多樣、價格合理且易于使用。
主要操作:
1)離子濺射:濺射電流可設范圍寬,至預設厚度(需選用FTM)終止或定時終止。可設濺射時間寬,無需破真空,自動內(nèi)置冷卻占空比。
2)蒸鍍:可用碳棒(可選碳繩)蒸鍍碳膜;選用鎢籃或鉬舟進行金屬熱蒸發(fā);選用標準鉬舟清潔TEM光闌
3)可視化狀態(tài)指示
大而多色的LED指示燈,使用戶在一定距離就可輕松識別過程狀態(tài)。指示燈可顯示以下狀態(tài):
◆ 初始化中 ◆ 程序運行
◆ 空閑狀態(tài) ◆ 正在鍍膜
◆ 程序完成 ◆ 故障停機狀態(tài)
程序完成后音頻聲音提示。
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