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Q150R PLUS 系列全自動(dòng)真空鍍膜儀
Q150R Plus適用于鎢燈絲/LaB6/部分場(chǎng)發(fā)射和臺(tái)式SEM。通過(guò)Q150R E&ES Plus碳繩鍍膜可用于元素分析,Q150R S&ES Plus可用貴金屬靶材濺射鍍膜。
推薦放大倍數(shù):
? Au、Au/Pd可達(dá)5萬(wàn)倍
? Pt(可選)可達(dá)10萬(wàn)倍
推薦應(yīng)用:
? 中低倍放大倍數(shù)觀察
? 增強(qiáng)二次電子信號(hào)(1nm或更小)
? 臺(tái)式SEM鍍膜
? 元素分析(EDS)
? 敷銅層研究
Q150R Plus 功能特點(diǎn):
1)全新升級(jí)的用戶界面:
? 電容式觸摸屏,靈敏度高,更易觸控使用
? 用戶界面軟件全面更新,使用現(xiàn)代智能技術(shù)界面
? 全面的文字幫助頁(yè)面
? USB接口可輕松進(jìn)行軟件更新和數(shù)據(jù)備份
? log文件格式為.csv,內(nèi)含日期、時(shí)間和工作參數(shù),導(dǎo)出后可在Excel或類似軟件中分析
? 16GB的閃存可儲(chǔ)存超過(guò)1000條鍍膜方案
? 雙核ARM處理器,可實(shí)現(xiàn)快速響應(yīng)的顯示
2)允許多用戶輸入和儲(chǔ)存鍍膜方案,并根據(jù)*近的使用來(lái)排列每個(gè)用戶的方案。
3)智能邏輯系統(tǒng)自動(dòng)識(shí)別插入頭,并顯示相應(yīng)的操作設(shè)置和控制。
4)系統(tǒng)提示用戶確認(rèn)靶材,然后自動(dòng)為該材料選擇合適參數(shù)。
5)直觀方便的軟件,即使新手也能快速輸入和存儲(chǔ)其處理參數(shù),創(chuàng)建自己的鍍膜程序,且系統(tǒng)已存儲(chǔ)典型的濺射和鍍碳程序可供直接調(diào)用。
6)如果軟件檢測(cè)到在一段時(shí)間內(nèi)無(wú)法達(dá)到設(shè)定真空度,系統(tǒng)會(huì)終止程序,以防真空泵過(guò)熱。
7)可互換的插入頭:允許用戶將系統(tǒng)配置為濺射鍍膜儀、蒸鍍儀或輝光放電系統(tǒng) - 所有這些系統(tǒng)都可集成在一個(gè)設(shè)備中,節(jié)省空間。可選碳繩蒸發(fā)??勺詣?dòng)檢測(cè)識(shí)別插入頭類型。
8)可拆卸腔室,設(shè)有防爆罩:可拆卸玻璃腔室,易清潔底座和頂板。如需要,用戶可快速更換腔室以避免敏感樣品交叉污染。高腔室選項(xiàng)可用于碳蒸發(fā),避免樣品過(guò)熱;提高濺射的均勻性和承載較高尺寸的樣品。
9)多種樣品臺(tái)可選:Q150R Plus具有可滿足大多數(shù)要求的樣品臺(tái)。所有樣品臺(tái)都是插入式(無(wú)螺絲),易于更換。
10)安全性:Q150R Plus符合行業(yè)CE標(biāo)準(zhǔn)
Q150R Plus系列鍍膜儀具有三種型號(hào):
1)Q150R S Plus全自動(dòng)濺射鍍膜儀,可濺射不氧化金屬。可濺射的靶材包括金、金/鈀合金和鉑。
2)Q150R E Plus全自動(dòng)碳繩蒸鍍儀,適合SEM領(lǐng)域的EDS和WDS應(yīng)用。
3)Q150R ES Plus集成了離子濺射和碳蒸鍍兩種方式的全自動(dòng)鍍膜系統(tǒng)。鍍膜頭可在數(shù)秒內(nèi)更換。
Q150R Plus是Quorum Technologies出品的國(guó)際認(rèn)可的Q系列鍍膜儀的一部分,全球數(shù)千家客戶使用此類鍍膜儀。Q系列旨在為SEM、TEM和薄膜應(yīng)用提供高質(zhì)量的鍍膜解決方案,Q系列功能多樣、價(jià)格合理且易于使用。
Q150R Plus主要操作參數(shù):
離子濺射:濺射電流范圍寬,至預(yù)設(shè)厚度(需選用FTM)終止或定時(shí)終止。超長(zhǎng)的可設(shè)濺射時(shí)間,無(wú)需破真空,自動(dòng)內(nèi)置冷卻占空比。
蒸鍍:穩(wěn)定的無(wú)雜波直流電源控制的脈沖蒸發(fā),確保碳繩蒸鍍的重復(fù)性。脈沖蒸發(fā)電流范圍寬。
可視化狀態(tài)指示:
大而多色的LED指示燈,使用戶在一定距離就可輕松識(shí)別過(guò)程狀態(tài)。
指示燈可顯示以下?tīng)顟B(tài):
◆ 初始化中 ◆ 程序運(yùn)行
◆ 空閑狀態(tài) ◆ 正在鍍膜
◆ 程序完成 ◆ 故障停機(jī)狀態(tài)
程序完成后音頻聲音提示
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