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美國SVT生產(chǎn)型MBE
SVT 擁有20年MBE設備制造與革新的經(jīng)驗。
MBE是半導體材料和器件生長的主要研究制造技術。
SVT 的MBE設備提供超高真空環(huán)境,可以精確制備各種薄膜結構,包括超高k電解質(zhì),光電子器件,高能通訊器件,以及其他應用器件。
SVT正不斷提高MBE系統(tǒng)的性能,并為客戶開放新材料提供更大便利。
35V14 MBE是生產(chǎn)型的MBE系統(tǒng),并可以加工超大尺寸樣品。
此系統(tǒng)可以加工**14''的樣品,
并配有大容量的源以及RF6.0生產(chǎn)型Plasma源。
可用于指標氧化物、氮化物、As化物等。
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