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SVT公司的線性束流監(jiān)控儀采用B-A離子規(guī)，用于在超高真空下測量束流。燈絲可以放在源的前面，用以獲取準確的數(shù)據(jù)來校準及監(jiān)控工藝生長過程。
儀器長度可以客戶定制，保證離子規(guī)有足夠的前后移動容域度，避免生長過程中各部件相互影響。LBFM系列是高精度MBE應(yīng)用的理想選擇。
●B-A離子規(guī)
●可放置于UHV環(huán)境中
●烘烤溫度200 oC
●2.75’’或4.5’’ CF 接口法蘭
●離子規(guī)隔離閥可選
束流電壓 | 10KV |
燈絲電流 | 3A |
發(fā)射電流 | 5A |
光學路徑范圍 | 41/2’’CF |
光斑大小 | 1.0mm (17’’/1075px距離) |
**烘烤溫度 | 230 oC |
暫無數(shù)據(jù)！
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