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特點：
*可調(diào)整光刻間距，**限度的避免光刻板被污染。
*操作簡易，任何操作人員都能在短時間內(nèi)熟練掌握。
*產(chǎn)能高于一般同行業(yè)競爭對手，**可達80WPH；
*可調(diào)整光刻時間，調(diào)整光強，并可根據(jù)所需累計光量值自動補償光刻時間（無需人工調(diào)整）。
*更具客戶端的光刻工藝，可預(yù)先設(shè)定光刻頻道，可**限度避免人為誤操作的產(chǎn)生。
應(yīng)用：
*LED，半導(dǎo)體的芯片生產(chǎn)和研發(fā)。
暫無數(shù)據(jù)！
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