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原理：用超越激光衍射極限的系統(tǒng)來(lái)研究樣品
NTEGRA Spectra 在檢測(cè)樣品時(shí)，通過(guò)掃描近場(chǎng)光學(xué)顯微術(shù)能提供超越激光光學(xué)衍射的光學(xué)分辨率。支持兩種不同的SNOM方式：光纖式SNOM和懸臂梁式SNOM所有的SNOM功能模式：透射模式，反射模式，收集模式。
所有SNOM的信號(hào)都可以被檢測(cè)：激光強(qiáng)度，熒光強(qiáng)度，光譜信號(hào)等。
SNOM刻蝕：矢量式，光柵式。
NTEGRA Spectra 采用開(kāi)放式光路設(shè)計(jì)，使其能夠與多種光學(xué)儀器進(jìn)行聯(lián)用。應(yīng)用領(lǐng)域包括微區(qū)化學(xué)成分分析、力學(xué)性能、介電性質(zhì)和光學(xué)的反射、透射、傳播性能的、碳基化合物、生物材料、半導(dǎo)體等，聯(lián)用測(cè)量的空間研究等等。能夠分析各種來(lái)源的復(fù)雜樣品，包括聚合物分辨率已經(jīng)接近納米尺度。
技術(shù)參數(shù) | 掃描方式 | ||
樣品掃描 | 針尖掃描 | ||
樣品尺寸 | **直徑40mm **高度15mm | **直徑100mm **高度15mm | |
樣品重量 | **100g | **300g | |
XY樣品定位 | 5×5mm | ||
定位精度 | 分辨率：5μm 靈敏度：2μm | ||
掃描范圍 | 100×100×10μm 3×3×2.6μm | 100×100×10μm 50×50×5μm | |
**200×200×20μm (DualScanTM模式) | |||
非線(xiàn)性度，XY （帶有閉環(huán)傳感器） | =0.1% | =0.15% | |
Z方向噪音水平（1000Hz帶寬時(shí)的RMS） | 帶有傳感器 | 0.04nm（典型值） =0.06nm | 0.06nm（典型值） =0.07nm |
不帶傳感器 | 0.03nm | 0.05nm | |
XY方向噪音水平（200Hz帶寬時(shí)的RMS） | 帶有傳感器 | 0.2nm（典型值） =0.3nm(XY 100μm) | 0.1nm（典型值） =0.2nm(XY 50μm) |
不帶傳感器 | 0.02nm(XY 100μm) =0.001nm(XY 3μm) | 0.01nm (XY 50μm) | |
線(xiàn)性度評(píng)價(jià)誤差（帶有傳感器） | ±0.5% | ±1.2% | |
光學(xué)觀(guān)察系統(tǒng) | 光學(xué)分辨率 | 1μm | 3μm |
視野 | 4.5-0.4mm | 2.0-0.4mm | |
連續(xù)變焦 | 是 | 是 | |
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