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壓電響應力顯微術 (PFM)

生物材料與鐵電材料等的成像

許多材料的機電耦合行為，如生物基細胞膜和蛋白質(zhì)，鐵電和壓電材料從現(xiàn)

在開始都可以用壓電響應力顯微鏡來表征。

這一成像技術在開發(fā)基于鐵電疇變等的新型電子設備方面引起了極大的關

注，在對將來電腦存儲等領域的諸多應用方面的發(fā)展有著巨大的潛力。

壓電響應力顯微術是在掃描探針顯微鏡的基礎上，在接觸式掃描過程中對探

針施加一個交流電壓，利用材料自身逆壓電效應來探測樣品表面形變的一類技術

總稱（見圖1）。壓電響應力顯微術已經(jīng)成為鐵電材料研究的重要手段，廣泛應

用于納米尺度疇結構的三維成像、疇結構的動態(tài)研究、疇結構控制和微區(qū)壓電、

鐵電、漏電等物理性能表征等領域。其**的優(yōu)勢就是同時具有極高的分辨率

（~10-20 nm）和靈敏度（~0.1 pm/V）。