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            光譜反射薄膜測厚儀SR500
            光譜反射薄膜測厚儀SR500

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            美國

            樣本

            暫無
            北京燕京電子有限公司

            會員

            |

            第2年

            |

            生產(chǎn)商

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            特點

            ·易于安裝

            ·基于視窗結構的軟件,很容易操作

            ·先進的光學設計,以確保能發(fā)揮出**的系統(tǒng)性能

            ·基于陣列設計的探測器系統(tǒng),以確??焖贉y量

            ·獨特的光源設計,有著較好的光源強度穩(wěn)定

            ·有四種方法來調(diào)整光的強度:

            § 通過電源的調(diào)節(jié)旋鈕來調(diào)節(jié)電源輸出的大小

            § 在光輸出濾光槽內(nèi)調(diào)整濾光片來調(diào)整

            § 調(diào)整光束大小

            § 通過TFProbe軟件,在探測器里調(diào)整積分時間

            ·*多可測量5層的薄膜厚度和折射率

            ·在毫秒的時間內(nèi),可以獲得反射率、傳輸和吸收光譜等一些參數(shù)

            ·能夠用于實時或在線的厚度折射率測量

            ·系統(tǒng)配備大量的光學常數(shù)數(shù)據(jù)及數(shù)據(jù)庫

            ·對于每個被測薄膜樣品,用戶可以利用先進的軟件功能選擇使用NK數(shù)據(jù)庫、也可以進行色散或者復合模型(EMA測量分析;

            ·可升級至MSP(顯微分光光度計)系統(tǒng),SRM成像系統(tǒng),多通道分析系統(tǒng),大點測量。

            ·通過模式和特性結構直接測量。

            ·能夠應用于不同類型、不同厚度的基片測。

            ·提供的各種配件可用于特殊結構的測量通過曲線表面進行縱長測量。

            ·2D3D圖形輸出和友好的用戶數(shù)據(jù)管理界面。

            系統(tǒng)配置:

            · 型號:SR500R

            ·雙探測器:對于紫外可見光用CCD,對于近紅外使用InGaAs探測器

            · 光源:氘和鹵素燈

            ·光傳送方式:光纖

            ·臺架平臺特殊處理鋁合金,能夠很容易的調(diào)節(jié)樣品重量,200mmx200mm大小

            · 軟件:TFProbe 2.2版本的軟件

            · 通訊接口:USB的通訊接口與計算機相連

            · 測量類型:薄膜厚度,反射光譜,折射率

            · 電腦硬件要求P3以上、*低50 MB的空間

            ·電源:110–240V AC/50-60Hz,1.5A

            · 保修:一年的整機及零備件保修

            規(guī)格:

            · 波長范圍:250nm到1700 nm

            · 光斑尺寸:500μm至5mm

            · 樣品尺寸:200mmx200mm或直徑200mm

            · 基板尺寸:*多可至50毫米厚

            · 測量厚度范圍*:2nm?150μm

            · 測量時間:*快2毫秒

            ·*優(yōu)于0.5%(通過使用相同的光學常數(shù),讓橢偏儀的結果與熱氧化物樣品相比較

            · 重復性誤差*小于1A

            應用:

            · 半導體制造(PROxide, Nitride..)

            · 液晶顯示(ITOPR,Cell gap... ..

            · 醫(yī)學,生物薄膜及材料領域等

            · 油墨,礦物學,顏料,調(diào)色劑等

            · 醫(yī)藥設備

            · 光學涂層,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..

            · 半導體化合物

            · MEMS/MOEMS系統(tǒng)上的功能性薄膜

            · 非晶體,納米材料和結晶硅

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            10分

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