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柔性電路板在線式等離子表面處理機(jī)：誠峰智造

真空式等離子處理系統(tǒng)CRF-VPO-2L-S

名稱（Name）

真空式等離子處理系統(tǒng)

型號（Model）

CRF-VPO-2L-S

控制系統(tǒng)（Control system）

PLC+觸摸屏

電源（Power supply）

380V/AC,50/60Hz, 3kw

中頻電源功率（RF Power）

1000W/40KHz

容量（Volume ）

10L(Option)

層數(shù)（Electrode of plies ）

2(Option)

腔體規(guī)格（Area）

220(W)*230(D)*230(H)

氣體通道（Gas）

兩路工作氣體可選：Ar、N2、CF4、O2

產(chǎn)品概述

設(shè)備參數(shù)

產(chǎn)品特點(diǎn)

超大處理空間，提升處理產(chǎn)能，采用PLC+觸摸屏控制系統(tǒng)，精準(zhǔn)的控制設(shè)備運(yùn)行；

可按照客戶要求定制設(shè)備腔體容量和層數(shù)，滿足客戶的需求；保養(yǎng)維修成本低，便于客戶成本控制；

高精度，快響應(yīng)，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專業(yè)的技術(shù)支持。

應(yīng)用范圍

真空等離子清洗機(jī)適用于印制線路板行業(yè)，半導(dǎo)體IC領(lǐng)域、硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域，汽車電子行業(yè),航空工業(yè)等。印制線路板行業(yè)：高頻板表面活化，多層板表面清潔、去鉆污、軟板、軟硬結(jié)合板表面清潔、去鉆污，軟板補(bǔ)強(qiáng)前活化。半導(dǎo)體IC領(lǐng)域：COB、COG、COF、ACF工藝，用于打線、焊接前的清洗；硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化。

電漿是物質(zhì)的第四態(tài)，是一種獨(dú)特的處理介質(zhì)，用于處理和粗化表面。電漿表面處理設(shè)備具有獨(dú)特的優(yōu)勢，它與表面相互作用的特點(diǎn)和適用范圍如下。

電漿表面處理設(shè)備具有表面處理的優(yōu)點(diǎn)，工藝的靈活性和一致性，低成本，使用方便，用戶和環(huán)境安全。根據(jù)所用的加工氣體和材料類型，電漿表面會發(fā)生不同的相互作用。

各種等離子體處理氣體可用于化學(xué)和機(jī)械污染物的去除，氧化，激活，交聯(lián)和沉積。

電漿表面處理設(shè)備性能：

什么是電漿，它是如何產(chǎn)生和維持的，以及它是如何與物質(zhì)表面相互作用的。電漿中的大量離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性顆粒作用于固體樣品表面，不僅能去除表面原有的污染物和雜質(zhì)，還能起到腐蝕作用，使樣品表面變粗糙，形成許多細(xì)小凹陷，使樣品的比表面積增大。改善固體表面的潤濕性。

電漿成形利用電容板或磁感應(yīng)在氣體區(qū)域產(chǎn)生RF振蕩電場。

電子的電場加速以及在足夠低的壓力下對中性原子或場線的彈性散射的聯(lián)合作用，使電子受熱。中性氣體中的電子獲得超過電離閾的動能時，電子的中性碰撞導(dǎo)致進(jìn)一步電離，從而產(chǎn)生額外的自由電子，這些電子被依次加熱。

電漿表面的相互作用：

電漿表面處理設(shè)備工藝中的電子和離子的能量足以電離中性原子，使分子分離，形成反應(yīng)性自由基，使原子或分子產(chǎn)生激發(fā)態(tài)，并對表面進(jìn)行局部加熱。

取決于工藝氣體和工藝參數(shù)，等離子體可通過機(jī)械作用、電子和離子動態(tài)遷移與表面的腐蝕效應(yīng)，以及化學(xué)反應(yīng)功，使自由基與表面發(fā)生反應(yīng)。

一般而言，等離子體可以通過幾種機(jī)制作用并清洗表面：蝕刻、活化、沉積、交聯(lián)和接枝等離子體表面。

電漿表面處理設(shè)備優(yōu)勢：

作用于材料表面作用：電漿等離子體處理只影響材料的近表面，對材料的塊狀性質(zhì)沒有影響。與許多濕洗工藝不同的是，電漿等離子清洗不會留下有機(jī)殘留物；在適當(dāng)?shù)臈l件下，等離子清洗可完全除去污染物，從而產(chǎn)生“原子潔凈”的表面。不像水洗溶液，等離子體不受表面張力的限制，能清潔粗糙、多孔或不平整的表面。在近環(huán)境溫度下進(jìn)行等離子體處理，可減少對熱敏材料的破壞。

電漿表面處理設(shè)備工藝具有一定的靈活性和一致性，根據(jù)工藝氣體和使用情況，等離子處理可用于表面特性的清潔，激活，清洗和改性變化。等離子體會與多種材料發(fā)生反應(yīng)，因此，等離子體還能處理由不同材料制成的元件。

1、價格低廉/容易使用

2、電漿處理效率高，處理時間短，無干燥階段，能耗低。

3、等離子體處理可以幫助避免熱損失和溶劑損壞造成的過程損失。

4、等離子體處理比化學(xué)或機(jī)械加工更容易使用和維護(hù)，而且無需復(fù)雜的化學(xué)分析或維護(hù)。

5、電漿處理通常不需要溶劑，也不需要不斷購買和加工溶劑。

6、采用電漿等離子工藝，提高了使用者和環(huán)境的安全性。

7、等離子技術(shù)可消除工人與危險化學(xué)品接觸的安全風(fēng)險。

8、電漿等離子體處理在接近環(huán)境溫度條件下進(jìn)行，不會產(chǎn)生安全問題。

9、可以處理復(fù)雜幾何形狀的三維零件。