參考價(jià)格
100-150萬(wàn)元型號(hào)
SiC、BN品牌
頂立科技產(chǎn)地
湖南樣本
暫無(wú)非金屬電熱元件:
其他金屬電熱元件:
其他燒結(jié)氣氛:
真空溫控精度:
±7.5最高溫度:
1500額定溫度:
1500看了臥式化學(xué)氣相爐的用戶又看了
虛擬號(hào)將在 180 秒后失效
使用微信掃碼撥號(hào)
臥式化學(xué)氣相沉積爐(SiC、BN)
產(chǎn)品描述:
臥式化學(xué)氣相沉積爐(SiC、BN)可用于材料的表面涂層、基體改性、復(fù)合材料制備等
應(yīng)用范圍:
外延片基座、晶體爐高溫耐材、熱彎模具、半導(dǎo)體坩堝、陶瓷基復(fù)合材料等
采用先進(jìn)的控制技術(shù),能精密控制MTS的流量和壓力,爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定,壓力波動(dòng)范圍?。?/span>
全密閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強(qiáng);
多通道工藝氣路,流場(chǎng)均勻,無(wú)沉積死角,沉積效果好;
多級(jí)高效尾氣處理系統(tǒng),能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物,環(huán)境友好;
可選配新設(shè)計(jì)的防腐蝕真空機(jī)組,持續(xù)工作時(shí)間長(zhǎng),維修率極低;
使用工藝氣氛:真空/CH4/H2/N2/Ar/BCI3/NH3/MTS。
參數(shù)\型號(hào) | HCVD-060609-SIC | HCVD-101015-SIC | VCVD-121220-SIC | HCVD-151530-SIC | HCVD-252035-SIC |
工作區(qū)尺寸W×H×L(mm) | 600×600×900 | 1000×1000×1500 | 1200×1200×2000 | 1500×1500×3000 | 2500×2000×3500 |
**溫度(℃) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
溫度均勻性(℃) | ±7.5 | ±7.5 | ±10 | ±10 | ±10 |
極限真空度(Pa) | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
壓升率(Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
加熱方式 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 |
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整,不作為驗(yàn)收依據(jù),具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。
結(jié)構(gòu)形式:臥式-單開(kāi)門/雙開(kāi)門;立式-上出料/下出料
爐門鎖緊方式:手動(dòng)/自動(dòng)
爐殼材質(zhì):內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
保溫材質(zhì):碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈/陶瓷纖維氈
加熱器、馬弗材質(zhì):石墨/CFC/金屬
熱電偶:K/N/C/S分度號(hào)
真空泵:機(jī)械泵組/耐腐蝕泵組
暫無(wú)數(shù)據(jù)!
2024年12月7日,由長(zhǎng)沙理工大學(xué)研究生院、長(zhǎng)沙市復(fù)合材料學(xué)會(huì)主辦,湖南頂立科技股份有限公司與長(zhǎng)沙理工大學(xué)材料工程學(xué)院聯(lián)合承辦的“長(zhǎng)沙理工大學(xué)第二十屆研究生博力學(xué)術(shù)論壇暨長(zhǎng)沙市復(fù)合材料學(xué)會(huì)第五屆復(fù)合
近日,湖南省科學(xué)技術(shù)協(xié)會(huì)公布了2024年湖南省“卓越工程師”名單,頂立科技副總經(jīng)理胡祥龍博士成功入選??倳洀?qiáng)調(diào),工程師是推動(dòng)工程科技造福人類、創(chuàng)造未來(lái)的關(guān)鍵力量,也是國(guó)家戰(zhàn)略人才力量的重要構(gòu)成部分。
11月26日至28日,2024年(首屆)硅基新材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展高峰論壇于襄陽(yáng)谷城盛大舉行,該論壇由中國(guó)有色金屬工業(yè)協(xié)會(huì)硅業(yè)分會(huì)與谷城縣人民政府指導(dǎo),北京國(guó)化新材研究院等單位聯(lián)合主辦。來(lái)自全國(guó)近200位硅基
所謂復(fù)合材料是指由兩種或兩種以上的組分材料,運(yùn)用一定的工藝技術(shù)制備組合而成的多相新材料體系,其綜合性能優(yōu)于各自組分材料。先進(jìn)復(fù)合材料指用高性能增強(qiáng)體如碳纖維、芳綸等高性能耐熱高聚物構(gòu)成的復(fù)合材料,包括