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肇慶市宏華電子科技有限公司
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技術(shù)特點(diǎn)：
● 可加工碳化硅晶錠（**厚度 5000mm）、帶框架的異形片及非標(biāo)準(zhǔn)的4/6/8寸SiC晶片；磨輪直徑 Φ300mm，**減薄速率 0.9μm/s, 單片磨削時(shí)間＜ 5 分鐘；
● 單主軸單工位自動(dòng)減薄機(jī)，在線測量方式（測量范圍0-1800μm）/ 離線測量方式（測量范圍 0-50000μm）可選；通過手動(dòng)進(jìn)行上片、卸片操作和油石手動(dòng)清洗承片臺(tái)。
性能指標(biāo)：
| WG-1281全自動(dòng)減薄機(jī) | |||
| 磨削方式 | 通過旋轉(zhuǎn)晶圓，實(shí)現(xiàn)縱向切入式磨削 | ||
| 結(jié)構(gòu)方式 | 2根主軸, 3個(gè)承片臺(tái),1回轉(zhuǎn)工作臺(tái) | ||
| 磨削尺寸 | mm | Max.?300(Φ8″-Φ12″) | |
| 磨輪直徑 | mm | 專用砂輪 | |
| 主軸 | 主軸數(shù)量 | - | 2 |
| 主軸功率 | KW | 5.5 | |
| 主軸轉(zhuǎn)速 | rpm | 1000-6000 | |
| Z軸行程 | mm | 120 | |
| Z軸分辨率 | μm | 0.1 | |
| 承片臺(tái) | 裝片方式 | - | 真空吸附 |
| 承片臺(tái)類型 | - | 多孔陶瓷式(純8寸/純12寸) | |
| 轉(zhuǎn)速 | rpm | 0-300 | |
| 數(shù)量 | 套 | 3 | |
| 減薄精度 | 片內(nèi)厚度偏差 | μm | ≤4 |
| 片間厚度偏差 | μm | ≤±4 | |
| 表面粗糙度Ra | μm | ≤0.02(#3000 wheel,) | |
| 粗磨Ring環(huán)精度 | μm | 3±0.15 | |
| 粗磨ring環(huán)精度 | μm | 3.5±0.15 | |
| 設(shè)備 | 外形尺寸WxD×H | mm | 1450×3800×1900 |
| 設(shè)備重量 | kg | 4700 | |
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企業(yè)名稱
肇慶市宏華電子科技有限公司企業(yè)類型
有限責(zé)任公司（自然人投資或控股）信用代碼
91441200682437428C法人代表
梁耀國注冊地址
肇慶市端州三路8號(hào)內(nèi)H幢成立日期
2008-12-02注冊資本
1555.0623萬元人民幣有效期限
2008-12-02 至 無固定期限經(jīng)營范圍
研發(fā)、生產(chǎn)、銷售：各類電子元器件、電子專用設(shè)備、儀器儀表。機(jī)電產(chǎn)品、電子材料、機(jī)械零部件的加工、銷售。計(jì)算機(jī)技術(shù)服務(wù)。貨物進(jìn)出口、技術(shù)進(jìn)出口。 （上述項(xiàng)目不含工商登記前置審批事項(xiàng)）（依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)）
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