肇慶市宏華電子科技有限公司
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技術(shù)特點(diǎn):
● 利用粗磨和精磨軌跡重合技術(shù),顯著提高了超薄晶圓磨削加工品質(zhì)的穩(wěn)定性,可實(shí)現(xiàn) 8 英寸晶圓厚度 100μm 以下精密減薄;
● 雙主軸三工位全自動減薄機(jī),配有在線測量儀單元,精確控制減薄厚度;配備自主、優(yōu)化的 8 英寸超精密空氣主軸和氣浮載臺;具備SECS/GEM聯(lián)網(wǎng)功能。
性能指標(biāo):
WG-8501自動減薄機(jī) | |||
磨削方式 | 通過旋轉(zhuǎn)晶圓,實(shí)現(xiàn)縱向切入式磨削 | ||
結(jié)構(gòu)方式 | 1根主軸, 3個(gè)承片臺,1回轉(zhuǎn)工作臺 | ||
磨削尺寸 | mm | Max.?200(Φ4″-Φ8″) | |
磨輪直徑 | mm | Φ200 | |
主軸 | 主軸數(shù)量 | - | 2 |
主軸功率 | KW | 5.5 | |
主軸轉(zhuǎn)速 | rpm | 1000-6000 | |
Z軸行程 | mm | 120 | |
Z軸分辨率 | μm | 0.1 | |
承片臺 | 裝片方式 | - | 真空吸附 |
承片臺類型 | - | 多孔陶瓷式(6/8寸兼容) | |
轉(zhuǎn)速 | rpm | 0-300 | |
承片臺數(shù)量 | 套 | 3 | |
減薄精度 | 片內(nèi)厚度偏差 | μm | ≤2.5 |
片間厚度偏差 | μm | ≤±2.5 | |
表面粗糙度斤 | μm | ≤0.002(#20000 wheel,Si) | |
設(shè)備 | 外形尺寸WxD×H | mm | 1200×2760×1950 |
設(shè)備重量 | kg | 約3800 |
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企業(yè)名稱
肇慶市宏華電子科技有限公司企業(yè)類型
有限責(zé)任公司(自然人投資或控股)信用代碼
91441200682437428C法人代表
梁耀國注冊地址
肇慶市端州三路8號內(nèi)H幢成立日期
2008-12-02注冊資本
1555.0623萬元人民幣有效期限
2008-12-02 至 無固定期限經(jīng)營范圍
研發(fā)、生產(chǎn)、銷售:各類電子元器件、電子專用設(shè)備、儀器儀表。機(jī)電產(chǎn)品、電子材料、機(jī)械零部件的加工、銷售。計(jì)算機(jī)技術(shù)服務(wù)。貨物進(jìn)出口、技術(shù)進(jìn)出口。 (上述項(xiàng)目不含工商登記前置審批事項(xiàng))(依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動)
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