肇慶市宏華電子科技有限公司
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技術(shù)特點(diǎn):
●磨輪直徑 Φ300mm,**減薄速率 0.9μm/s, 單片磨削時(shí)間< 5 分鐘。選擇高功率高扭矩主軸,可實(shí)現(xiàn)高效率、高精度、無(wú)損傷鏡面加工;
●雙主軸三工位全自動(dòng)減薄機(jī),配有在線測(cè)量?jī)x單元(測(cè)量范圍 0-1800μm),精確控制減薄厚度;具備 SECS/GEM 聯(lián)網(wǎng)功能。配置 SMIF(選配),保持高清潔度的同時(shí)穩(wěn)定減薄。
性能指標(biāo):
WG-1250自動(dòng)減薄機(jī) | |||
磨削方式 | 通過(guò)旋轉(zhuǎn)晶圓,實(shí)現(xiàn)縱向切入式磨削 | ||
結(jié)構(gòu)方式 | 1根主軸, 3個(gè)承片臺(tái),1回轉(zhuǎn)工作臺(tái) | ||
磨削尺寸 | mm | Max.?200(Φ6″-Φ8″) | |
磨輪直徑 | mm | Φ300 | |
主軸 | 主軸數(shù)量 | - | 2 |
主軸功率 | KW | 7.5 | |
主軸轉(zhuǎn)速 | rpm | 1000-4000 | |
Z軸行程 | mm | 120 | |
Z軸分辨率 | μm | 0.1 | |
承片臺(tái) | 裝片方式 | - | 真空吸附 |
承片臺(tái)類型 | - | 多孔陶瓷式(6/8寸兼容) | |
轉(zhuǎn)速 | rpm | 0-300 | |
承片臺(tái)數(shù)量 | 套 | 3 | |
承片臺(tái)清洗方式 | - | 油石手動(dòng)清洗 | |
減薄精度 | 片內(nèi)厚度偏差 | μm | ≤2 |
片間厚度偏差 | μm | ≤±2 | |
表面粗糙度斤 | nm | ≤3(#30000 wheel,SiC) | |
設(shè)備 | 外形尺寸WxD×H | mm | 1445×3330×1895 |
設(shè)備重量 | kg | 4700 |
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企業(yè)名稱
肇慶市宏華電子科技有限公司企業(yè)類型
有限責(zé)任公司(自然人投資或控股)信用代碼
91441200682437428C法人代表
梁耀國(guó)注冊(cè)地址
肇慶市端州三路8號(hào)內(nèi)H幢成立日期
2008-12-02注冊(cè)資本
1555.0623萬(wàn)元人民幣有效期限
2008-12-02 至 無(wú)固定期限經(jīng)營(yíng)范圍
研發(fā)、生產(chǎn)、銷售:各類電子元器件、電子專用設(shè)備、儀器儀表。機(jī)電產(chǎn)品、電子材料、機(jī)械零部件的加工、銷售。計(jì)算機(jī)技術(shù)服務(wù)。貨物進(jìn)出口、技術(shù)進(jìn)出口。 (上述項(xiàng)目不含工商登記前置審批事項(xiàng))(依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng))
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