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?氧化鋁陶瓷基復(fù)合材料（CMC），作為耐高溫新型復(fù)合材料，具有高強(qiáng)度、高韌性、耐高溫、耐腐蝕等特點(diǎn)，在火箭尾部噴管、發(fā)動(dòng)機(jī)葉片、剎車片等領(lǐng)域得到應(yīng)用。CMC主要制作方法有化學(xué)氣相滲透法、先驅(qū)體浸漬裂解法、納米浸漬法、液相或氣相滲硅法等。氧化鋁陶CMC制備方法主要集中在前三種?；瘜W(xué)氣相滲透需要有好的可氣

? 第三代半導(dǎo)體相比于第一、二代半導(dǎo)體，其具有更高的禁帶寬度、高擊穿電壓、電導(dǎo)率和熱導(dǎo)率，在高溫、高壓、高功率和高頻領(lǐng)域?qū)⑻娲皟纱雽?dǎo)體材料。其中碳化硅應(yīng)用更為廣泛。 碳化硅晶圓相對(duì)于硅片，其硬度更高硅片的拋光使用硅溶膠拋光液或者較為柔軟的氧化鈰拋光液即可，但碳化硅的硬度9.2以上，硅片