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爐

體

結(jié)

構(gòu)

1、爐蓋是由內(nèi)外封頭及法蘭組成，其外層及采用碳鋼材料制作而成，內(nèi)層及法蘭采用不銹鋼，內(nèi)封頭為 10mm 不銹鋼，外封頭為 10mm 不銹鋼，法蘭為 40mm 不銹鋼，內(nèi)外封頭與法蘭焊接成一個整體，兩層支間形成夾套可以通水冷卻，爐蓋開關(guān)及鎖緊采用手動方式。

2、發(fā)熱元件采用硅鉬棒（硅鉬棒為標(biāo)準(zhǔn)件，硅鉬棒冷端為 ?12mm），將硅鉬棒(48 根）分成三區(qū)，每區(qū) 12 根連接成三相，由特質(zhì)的引出電極從爐體引出，并由電爐控制

系統(tǒng)三相供電經(jīng)過變壓器降壓后用銅排或電纜連結(jié)到引出電極，形成一個控制回路。

3、保溫層由多晶體莫來石材料及不銹鋼框架經(jīng)過加工制作成一個整體的隔熱系統(tǒng)，能方便安裝及維修.

4、氮化硅合成爐內(nèi)設(shè)有保溫層支撐座，將保溫桶放在設(shè)計(jì)好的支撐座上，保溫層使用不銹鋼外框及保溫材料做成，保溫材料為多晶體莫萊石。

真

空

系

統(tǒng)

真空系統(tǒng)由機(jī)械泵+羅茨泵，氣動高真空蝶閥，帶充氣壓差閥及不銹 鋼管道組成，真空測量儀選用電阻式數(shù)顯真空測量儀。

電

氣

系

統(tǒng)

（1）供電是采用低壓變壓器及可控硅功率控制器，380V 三相電源經(jīng)過降壓變壓器，電壓降后經(jīng)過連接銅牌或電纜送到引出電極上。本系統(tǒng)具有軟啟動、軟切斷、恒流、過流保護(hù)等功能。

（2） 整臺電爐的電氣控制采用昆侖通觸摸屏，并配有 12 寸觸摸屏，并通過觸摸屏按照工藝要求設(shè)置及保存。也可將輸出信號接入用戶的 DCS 系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)全過程監(jiān)控；本系統(tǒng)具有軟啟動、軟切斷、恒流、過流保護(hù)等功能：熱電偶采用鎢錸熱電偶。

（3）整臺電爐在工作狀態(tài)下具有，水欠壓（及欠流）、超溫、過流自動連鎖及報警、保護(hù)切斷主電源功能，報警狀態(tài)為聲、光指示方式 。

（4）氣體控制方式

氣體經(jīng)減壓閥降壓后，由電磁閥及氣體流量計(jì)按比例進(jìn)入氣體混合桶，混合氣體分二路進(jìn)入爐膛，在升溫過程中，氣體會隨溫度的升高而膨脹超壓，超壓部分再由壓變及電磁閥自動將多余氣體從爐體底部排出爐體。（控制回路，回路為單回路）

水

冷

系

統(tǒng)

冷卻水由總管進(jìn)入，經(jīng)過各支路送至爐體.爐蓋及需要冷卻的地方，然后匯總到回水管進(jìn)入水箱或冷卻塔，每路冷卻水都配有手動銅球閥，可以按需要調(diào)節(jié)流量大小；總進(jìn)水管上裝有電接點(diǎn)壓力表，當(dāng)水壓低于設(shè)定壓力時，控制系統(tǒng)會聲.光報警.并自動切斷主電源，冷水機(jī)由客戶自備。