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FGL(RTP)系列滑軌式管式爐(Tmax1100℃)
滑軌式管式爐一體什結(jié)構(gòu)設(shè)計,用干1100℃以下快速升溫快速降溫的特殊工藝要求,通過移動爐體實現(xiàn)快速冷卻的目的。同時也可以預(yù)先設(shè)定溫度,然后
移動到樣品處,達到快速升溫。適合使用廣泛的RTPT藝及CVD石墨烯工藝。
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