合肥費舍羅熱工裝備有限公司
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【簡單介紹】
滑軌管式爐一體化結構設計,用于1100℃以下快速升溫快速降溫的特殊工藝要求,通過移動爐體實現快速冷卻的目的。同時也可以預先設定溫度,然后移動到樣品處,達到快速升溫的效果。高純石英管作為爐膛,無污染,抗急冷急熱性能好。設備外形精巧美觀,周邊拓展性好,適合使用廣泛的RTP工藝及CVD石墨烯工藝。
【詳細說明】
FGL(RTP)系列滑軌式管式爐(T max 1100℃)
滑軌管式爐一體化結構設計,用于1100℃以下快速升溫快速降溫的特殊工藝要求,通過移動爐體實現快速冷卻的目的。同時也可以預先設定溫度,然后移動到樣品處,達到快速升溫的效果。高純石英管作為爐膛,無污染,抗急冷急熱性能好。設備外形精巧美觀,周邊拓展性好,適合使用廣泛的RTP工藝及CVD石墨烯工藝。
特點
工作溫度RT~1000℃。
爐管管徑25mm~90mm可選。
溫區(qū)個數1個
程序控溫儀,智能邏輯PID算法,控制精準??删庉?、儲存并調用多段程序,無需重新設置,操作簡單。
采用陶瓷纖維FEC加熱模塊,電阻絲內嵌式環(huán)繞加熱。
爐殼結構,雙層爐殼風冷結構。
爐口密封:不銹鋼雙層密封法蘭,進、出氣美標針閥。
爐管保護:兩端可調節(jié)式法蘭支撐結構,延長石英管的使用壽命。
超溫保護功能,當溫度超過允許設定值自動斷電。
安全保護當爐體漏電時自動斷電。。
LED高強度抗破壞全不銹鋼按鈕,經久耐用。
額外選配:爐內測量系統(tǒng)(氧含量檢測系統(tǒng)、溫度檢測系統(tǒng));
真空系統(tǒng)(旋片式機械泵、擴散泵機組、分子泵機組);
氣氛系統(tǒng)(浮子流量計、質量流量計);
監(jiān)控系統(tǒng):(溫度記錄儀、觸摸屏遠程監(jiān)控);
注:選件需配置拓展柜體;
技術參數:
企業(yè)名稱
合肥費舍羅熱工裝備有限公司企業(yè)類型
信用代碼
91340100097391430R法人代表
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