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湖南頂立科技股份有限公司
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臥式化學氣相沉積爐（SiC、BN）
產(chǎn)品描述：
臥式化學氣相沉積爐（SiC、BN）可用于材料的表面涂層、基體改性、復合材料制備等
應用范圍：
外延片基座、晶體爐高溫耐材、熱彎模具、半導體坩堝、陶瓷基復合材料等
采用先進的控制技術，能精密控制MTS的流量和壓力，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動范圍??；
全密閉沉積室，密封效果好，抗污染能力強；
多通道工藝氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；
多級高效尾氣處理系統(tǒng)，能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產(chǎn)物，環(huán)境友好；
可選配新設計的防腐蝕真空機組，持續(xù)工作時間長，維修率極低；
使用工藝氣氛：真空/CH4/H2/N2/Ar/BCI3/NH3/MTS。
| 參數(shù)\型號 | HCVD-060609-SIC | HCVD-101015-SIC | VCVD-121220-SIC | HCVD-151530-SIC | HCVD-252035-SIC |
| 工作區(qū)尺寸W×H×L（mm） | 600×600×900 | 1000×1000×1500 | 1200×1200×2000 | 1500×1500×3000 | 2500×2000×3500 |
| **溫度（℃） | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 溫度均勻性（℃） | ±7.5 | ±7.5 | ±10 | ±10 | ±10 |
| 極限真空度（Pa） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 壓升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 加熱方式 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 |
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進行調(diào)整，不作為驗收依據(jù)，具體以技術方案和協(xié)議為準。
結構形式：臥式-單開門/雙開門；立式-上出料/下出料
爐門鎖緊方式：手動/自動
爐殼材質(zhì)：內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
保溫材質(zhì)：碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈/陶瓷纖維氈
加熱器、馬弗材質(zhì)：石墨/CFC/金屬
熱電偶：K/N/C/S分度號
真空泵：機械泵組/耐腐蝕泵組
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企業(yè)名稱
湖南頂立科技股份有限公司企業(yè)類型
其他股份有限公司(非上市)信用代碼
91430100788042096T法人代表
戴煜注冊地址
中國（湖南）自由貿(mào)易試驗區(qū)長沙片區(qū)星沙產(chǎn)業(yè)基地（長龍街道）涼塘東路1271號成立日期
2006-05-25注冊資本
3989.2752萬人民幣有效期限
2006-05-25 至 無固定期限
經(jīng)營范圍
許可項目：第二類醫(yī)療器械生產(chǎn)；第三類醫(yī)療器械生產(chǎn)；第三類醫(yī)療器械經(jīng)營（依法須經(jīng)批準的項目，經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動，具體經(jīng)營項目以相關部門批準文件或許可證件為準）一般項目：新材料技術研發(fā)；新材料技術推廣服務；技術服務、技術開發(fā)、技術咨詢、技術交流、技術轉(zhuǎn)讓、技術推廣；工業(yè)設計服務；3D打印服務；3D打印基礎材料銷售；增材制造；石墨及碳素制品制造；石墨及碳素制品銷售；合成材料制造（不含危險化學品）；高性能纖維及復合材料制造；高性能纖維及復合材料銷售；金屬材料制造；非金屬礦物制品制造；非金屬礦及制品銷售；金屬基復合材料和陶瓷基復合材料銷售；鍛件及粉末冶金制品制造；鍛件及粉末冶金制品銷售；金屬表面處理及熱處理加工；機械電氣設備制造；機械設備研發(fā)；機械設備銷售；機械設備租賃；專用設備制造（不含許可類專業(yè)設備制造）；冶金專用設備制造；冶金專用設備銷售；環(huán)境保護專用設備制造；環(huán)境保護專用設備銷售；泵及真空設備制造；泵及真空設備銷售；智能基礎制造裝備制造；智能基礎制造裝備銷售；烘爐、熔爐及電爐制造；烘爐、熔爐及電爐銷售；增材制造裝備制造；增材制造裝備銷售；非居住房地產(chǎn)租賃；貨物進出口；技術進出口；第二類醫(yī)療器械銷售（除依法須經(jīng)批準的項目外，憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開展經(jīng)營活動）。
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