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化學氣相沉積爐(碳化硅)可用于以硅烷為氣源的材料表面抗氧化涂層、基體改性等。
☆ 采用先進的控制技術,能精密控制MTS的流量和壓力,爐膛內沉積氣流穩(wěn)定,壓力波動范圍小;
☆ 采用特殊結構沉積室,密封效果好,抗污染能力強;
☆ 采用多通道沉積氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;
☆ 對沉積產生的高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產物能進行有效處理;
☆ 采用**設計防腐蝕真空機組,持續(xù)工作時間長,維修率極低。
☆ 爐門:絲桿升降/液壓升降/手動升降;旋轉移開/平行移開(大尺寸爐門);手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊
☆ 爐殼:全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼
☆ 爐膽:軟碳氈/軟石墨氈/硬質復合氈/CFC
☆ 加熱器、馬弗:等靜壓石墨/模壓三高石墨/細顆粒石墨
☆ 工藝氣路系統(tǒng):體積/質量流量計
☆ 熱電偶:K分度號/N分度號/C分度號/S分度號
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企業(yè)名稱
湖南頂立科技股份有限公司企業(yè)類型
其他股份有限公司(非上市)信用代碼
91430100788042096T法人代表
戴煜注冊地址
中國(湖南)自由貿易試驗區(qū)長沙片區(qū)星沙產業(yè)基地(長龍街道)涼塘東路1271號成立日期
2006-05-25注冊資本
3989.2752萬人民幣有效期限
2006-05-25 至 無固定期限經營范圍
許可項目:第二類醫(yī)療器械生產;第三類醫(yī)療器械生產;第三類醫(yī)療器械經營(依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動,具體經營項目以相關部門批準文件或許可證件為準)一般項目:新材料技術研發(fā);新材料技術推廣服務;技術服務、技術開發(fā)、技術咨詢、技術交流、技術轉讓、技術推廣;工業(yè)設計服務;3D打印服務;3D打印基礎材料銷售;增材制造;石墨及碳素制品制造;石墨及碳素制品銷售;合成材料制造(不含危險化學品);高性能纖維及復合材料制造;高性能纖維及復合材料銷售;金屬材料制造;非金屬礦物制品制造;非金屬礦及制品銷售;金屬基復合材料和陶瓷基復合材料銷售;鍛件及粉末冶金制品制造;鍛件及粉末冶金制品銷售;金屬表面處理及熱處理加工;機械電氣設備制造;機械設備研發(fā);機械設備銷售;機械設備租賃;專用設備制造(不含許可類專業(yè)設備制造);冶金專用設備制造;冶金專用設備銷售;環(huán)境保護專用設備制造;環(huán)境保護專用設備銷售;泵及真空設備制造;泵及真空設備銷售;智能基礎制造裝備制造;智能基礎制造裝備銷售;烘爐、熔爐及電爐制造;烘爐、熔爐及電爐銷售;增材制造裝備制造;增材制造裝備銷售;非居住房地產租賃;貨物進出口;技術進出口;第二類醫(yī)療器械銷售(除依法須經批準的項目外,憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開展經營活動)。
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