安徽貝意克設備技術有限公司
已認證
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一、產(chǎn)品特色
這是一款定制可開啟式CVD設備。該設備主要開啟式加熱爐、氣路系統(tǒng)、反應管、智能控制系統(tǒng)。
1、開啟式加熱爐:
加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料,配S型熱電偶,單點控溫;設備升降溫控制靈活、加熱爐可開啟方便客戶更換維修反應管
2、氣路系統(tǒng)可精確控制3路氣體按不同流量進行混合配比,另外單獨1路可通強腐蝕氣體,配備吹掃氣路。
氣路管路及閥門,精工件都采用316L材質(zhì)。
3、反應管組件
反應管組件使用耐高溫剛玉管,內(nèi)加剛玉管堵,兩端密封法蘭帶水冷卻系統(tǒng),反應管尾部帶反應物收集冷卻裝置。實驗眾產(chǎn)生的尾氣經(jīng)過冷卻收集后再通過球閥排出。
4、氣體報警系統(tǒng)
配備有氫氣報警器,氯氣報警器、甲烷報警器。分別設置1個檢測點,報警后自動切斷氫氣、氯氣和甲烷的供應,并發(fā)出警報。
5、 智能控制系統(tǒng)
采用智能PID模糊控制,30段可編程控制。具有超溫和斷偶報警功能。
二、技術參數(shù)
**溫度 | 1400℃ |
持續(xù)工作溫度 | ≤1300℃ |
升溫速率 | ≤10℃/min |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱元件 | 硅碳棒 |
熱電偶 | S型 |
控溫方式 | 模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),人工智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能。 |
加熱總功率 | ≤9KW |
加熱區(qū)尺寸 | 300*130*160mm |
真空度 | ≤5pa |
設備尺寸 | 2100*600*1350mm |
設備重量 | 約350KG |
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企業(yè)名稱
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91340100591423143H法人代表
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