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安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司
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這是一款定制組合式PECVD設(shè)備。該設(shè)備主要由加熱爐、射頻組件、氣路柜組成。
1、開啟式加熱爐
加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料，配K型熱電偶，3點控溫；設(shè)備升降溫控制靈活、加熱爐可開啟方便客戶更換維修反應管。
2、射頻組件
500W射頻機組，可以使整個實驗腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū)，輝光均勻等效。
3、氣路柜組件
可控制多種氣體按照不同流量進行混合配比，由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭組成，外形美觀，操作簡便，數(shù)據(jù)直觀可讀。
加熱總功率 | ≤7KW |
額定電壓 | 220V |
**溫度 | 1200℃ |
工作溫度 | ≦1100℃ |
升溫速率 | ≦10℃/min |
加熱元件 | 電阻絲 |
加熱區(qū)長度 | 200+200+200mm |
熱電偶 | K型熱電偶 |
控溫方式 | 模糊PID控制和自動整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能 |
控溫精度 | ±1℃ |
設(shè)備尺寸 | 2700x600x1250mm |
設(shè)備重量 | 約180KG |
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